使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置
摘要:
本发明公开了一种使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置,包括沿光路依次设置的测试光路、4f系统光路、分光光路和移相光路。测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品,获得被测信息;4f系统光路包括两组分别位于干涉系统两臂的傅里叶透镜和反射镜,线偏振小孔衍射板设置在两个傅里叶透镜的共同焦点处,获得参考光和测试光;分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组,将参考光和测试光等光程地分为四束;移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器,将光线缩束后用探测器接收,形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波,测量精度高,并且为共光路系统,结构紧凑,抗振性好。
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