- 专利标题: 使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置
- 专利标题(英): Common-optical-path point-diffraction synchronous phase-shift interferometer using lenses for light splitting
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申请号: CN201610071045.7申请日: 2016-02-01
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公开(公告)号: CN107024338A公开(公告)日: 2017-08-08
- 发明人: 周翔 , 蒋超 , 郭仁慧 , 张辉钦 , 郑东晖 , 陈磊 , 李建欣 , 何勇
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 朱沉雁
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本发明公开了一种使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置,包括沿光路依次设置的测试光路、4f系统光路、分光光路和移相光路。测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品,获得被测信息;4f系统光路包括两组分别位于干涉系统两臂的傅里叶透镜和反射镜,线偏振小孔衍射板设置在两个傅里叶透镜的共同焦点处,获得参考光和测试光;分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组,将参考光和测试光等光程地分为四束;移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器,将光线缩束后用探测器接收,形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波,测量精度高,并且为共光路系统,结构紧凑,抗振性好。
公开/授权文献
- CN107024338B 使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置 公开/授权日:2020-04-21