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公开(公告)号：CN107024173B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610072750.9
申请日：2016-02-01
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种使用小孔衍射板的共光路点衍射同步移相干涉测试装置，包括沿光路依次设置的测试光路、小孔衍射光路、分光光路和移相光路；测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品，获得被测信息；小孔衍射光路包括沿光路依次设置的双折射透镜、小孔衍射板、透镜和光栅，获得参考光和测试光；分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组，将参考光和测试光等光程地分为四束；移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器，将光线缩束后用探测器接收，形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波，测量精度高，并且为共光路系统，结构紧凑，抗振性好。
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公开(公告)号：CN107024774A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610071425.0
申请日：2016-02-01
申请人： 南京理工大学
CPC分类号： G02B27/106 , G02B27/286
摘要： 本发明公开了一种四束分光的等光程分光棱镜组装置，包括λ/4波片、三个分光棱镜组、偏振阵列和探测器。每个分光棱镜组均由三个三角棱镜胶合而成，可将一束入射光等光程地分为两束出射光。三个分光棱镜组组合后，可将经过λ/4波片后的一束正交的圆偏光分为四束相同的光，经偏振阵列移相，成像在探测器上形成四幅干涉图像。本发明利用特殊设计的分光棱镜组对入射光进行等光程地分光，可达到很高的光能利用率。且四束出射光均平行于光轴，无需再利用其他光学元件准直，所以位置匹配精度很高。
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公开(公告)号：CN107024338B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201610071045.7
申请日：2016-02-01
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置，包括沿光路依次设置的测试光路、4f系统光路、分光光路和移相光路。测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品，获得被测信息；4f系统光路包括两组分别位于干涉系统两臂的傅里叶透镜和反射镜，线偏振小孔衍射板设置在两个傅里叶透镜的共同焦点处，获得参考光和测试光；分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组，将参考光和测试光等光程地分为四束；移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器，将光线缩束后用探测器接收，形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波，测量精度高，并且为共光路系统，结构紧凑，抗振性好。
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公开(公告)号：CN106767389B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201510812595.5
申请日：2015-11-20
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明提供一种基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置，包括沿光路方向依次放置干涉系统、棱镜分光移相系统和成像系统，来自激光器的光进入干涉系统，用四分之一波片前表面作为参考面，透射光来回二次经过四分之一波片与反射光形成带有被测件信息的正交偏振光；正交的偏振光进入棱镜分光移相系统，分成三束相位偏差依次为0，π/2和‑π/2的平行正交偏振光；最后进入成像系统，在缩束后经过偏振片再经成像物镜成像到探测器上形成三幅干涉条纹。本发明能有效防止环境振动的干扰，具有光能利用率高，结构紧凑，系统误差小的特点。
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公开(公告)号：CN107024338A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610071045.7
申请日：2016-02-01
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置，包括沿光路依次设置的测试光路、4f系统光路、分光光路和移相光路。测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品，获得被测信息；4f系统光路包括两组分别位于干涉系统两臂的傅里叶透镜和反射镜，线偏振小孔衍射板设置在两个傅里叶透镜的共同焦点处，获得参考光和测试光；分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组，将参考光和测试光等光程地分为四束；移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器，将光线缩束后用探测器接收，形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波，测量精度高，并且为共光路系统，结构紧凑，抗振性好。
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公开(公告)号：CN107024173A
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610072750.9
申请日：2016-02-01
申请人： 南京理工大学
CPC分类号： G01B11/00 , G02B27/283 , G02B27/4205
摘要： 本发明公开了一种使用小孔衍射板的共光路点衍射同步移相干涉测试装置，包括沿光路依次设置的测试光路、小孔衍射光路、分光光路和移相光路；测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品，获得被测信息；小孔衍射光路包括沿光路依次设置的双折射透镜、小孔衍射板、透镜和光栅，获得参考光和测试光；分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组，将参考光和测试光等光程地分为四束；移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器，将光线缩束后用探测器接收，形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波，测量精度高，并且为共光路系统，结构紧凑，抗振性好。
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公开(公告)号：CN106767389A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510812595.5
申请日：2015-11-20
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0201
摘要： 本发明提供一种基于棱镜分光移相的斐索型同步移相干涉测试装置，包括沿光路方向依次放置干涉系统、棱镜分光移相系统和成像系统，来自激光器的光进入干涉系统，用四分之一波片前表面作为参考面，透射光来回二次经过四分之一波片与反射光形成带有被测件信息的正交偏振光；正交的偏振光进入棱镜分光移相系统，分成三束相位偏差依次为0，π/2和-π/2的平行正交偏振光；最后进入成像系统，在缩束后经过偏振片再经成像物镜成像到探测器上形成三幅干涉条纹。本发明能有效防止环境振动的干扰，具有光能利用率高，结构紧凑，系统误差小的特点。
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