一种消除动态干涉仪偏振干涉光路杂散光的方法

    公开(公告)号:CN117685873A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311822196.8

    申请日:2023-12-27

    IPC分类号: G01B9/02001 G01B9/02

    摘要: 本发明公开了一种消除动态干涉仪偏振干涉光路杂散光的方法,即通过改变传统泰曼‑格林动态干涉仪中1/4波片的位置和传统镜头的设计,设计了一种由可切换的第一1/4波片、定位镜头座和无镜头所组成的镜头切换组件,并将其应用于动态干涉仪偏振干涉光路中,从而通过改变镜头中各个镜片反射光束的偏振态来消除干涉过程中所产生的杂散光,使得采集得到的干涉图质量更好,解算结果更加精准,提高了光学元件整个检测过程的精度。利用这种方法可以设计出成像质量更好的镜头,以及检测精度更精准的干涉测量设备等。

    一种非迭代计算相位倾斜参数的移相干涉测量方法

    公开(公告)号:CN116481655A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310437678.5

    申请日:2023-04-21

    IPC分类号: G01J9/02

    摘要: 本发明公开了一种非迭代计算相位倾斜参数的移相干涉测量方法,该方法包括以下步骤:估计干涉图中相位的倾斜项,作为初始值;根据倾斜项的初始值,构建最小二乘拟合,求得相位中的常数项;根据求得的相位的常数项以及估计的x方向的倾斜项,构建最小二乘拟合,求得y方向的倾斜项;根据求得的相位的常数项以及求得的y方向的倾斜项,构建最小二乘拟合,求得x方向的倾斜项;针对每一帧干涉图,重复前面步骤得到移相干涉图相位的倾斜参数;将移相干涉图的倾斜参数作差得移相量,根据最小二乘移相算法求得相位分布,完成移相干涉测量。本发明能够高效率、高精度的完成振动环境下的移相干涉测量。

    一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法

    公开(公告)号:CN114754669A

    公开(公告)日:2022-07-15

    申请号:CN202210283749.6

    申请日:2022-03-22

    摘要: 本发明公开了一种多模光纤束扩展光源抑制干涉仪相干噪声的方法。首先根据扩展光源和干涉图对比度关系,光纤束最大等效芯径dmax;其次将激光束耦合到光纤束中,采集不同芯径di下的干涉散斑背景图Ij,计算散斑对比度Csj,换算后得到光纤束中激发的模式数Mj;然后计算旋转毛玻璃动态散斑法中散斑模式数Msj,结合散斑抑制条件以及模式数Mj得到光纤束最小等效芯径dmin;最后根据光纤束约束条件选择最优芯径d,将旋转毛玻璃置于显微镜头和多模光纤束之间,激光束经过显微物镜透过旋转毛玻璃聚焦于光纤束端面上,实现相干噪声抑制。本发明实现了干涉仪中相干噪声的抑制,增大旋转毛玻璃定位范围,隔绝毛玻璃振动对测量影响。

    锁波长97Xnm波段泵浦的线性腔全光纤激光振荡器

    公开(公告)号:CN112636157A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011465213.3

    申请日:2020-12-14

    IPC分类号: H01S3/131 H01S3/067

    摘要: 本发明公开了一种锁波长97Xnm波长泵浦的线性腔全光纤激光振荡器包括増益光纤、高反光纤光栅、低反光纤光栅、半导体激光器、泵浦信号合束器、信号传能光纤、泵浦传能光纤和光纤输出端帽;高反光纤光栅、增益光纤、低反光纤光栅通过信号传能光纤依次连接形成光纤激光谐振腔;半导体激光器输出泵浦光经泵浦传能光纤注入泵浦信号合束器,再经信号传能光纤注入到光纤激光谐振腔中;光纤激光谐振腔输出的激光经过与之连接的光纤输出端帽扩束输出。本发明吸收系数较低,可有效降低增益光纤的局部热负荷,提高非线性效应阈值,从而提高振荡器输出功率水平。锁波长泵浦源实现了一定温度范围内泵浦波长的稳定,使得激光器的输出功率稳定性大幅提高。

    基于干涉显微的微球面缺陷检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN109211934B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201810993344.5

    申请日:2018-08-29

    IPC分类号: G01N21/952

    摘要: 本发明公开了一种基于干涉显微的微球面缺陷检测装置及其检测方法,利用两个一致的显微物镜搭建改进的偏振型Linnik干涉显微系统,首次将凹球面反射镜作为标准参考镜,采用短相干激光器结合迈克尔逊干涉结构产生一对相位延迟的正交偏振光作为光源,通过匹配偏振型Linnik干涉仪干涉腔的相位差,补偿参考光与测试光之间的位相延迟,利用PZT空域移相采集四幅移相量依次相差的干涉图,通过移相算法求解得到表面缺陷的信息。本发明提出的装置成像质量好,条纹对比度高,且系统简单可靠,适用于不同直径的微球检测。

    一种镜组的装调方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107505684B

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201710741132.3

    申请日:2017-08-25

    IPC分类号: G02B7/02 G02B27/62

    摘要: 本发明公开了一种镜组的装调方法。该方法步骤如下:根据镜组参数设定镜筒的尺寸,与每个镜片对应的镜筒壁沿周向均匀设置四个调整螺丝;装调时,首先利用杠杆表调整镜筒与中心偏测量仪的位置,调整工作台与中心激光光束光轴的水平位置与俯仰位置;其次,通过调整螺丝对第一个镜片的光轴进行调整,采用隔圈固定后置入下一个镜片继续进行光轴调整;并记录各镜片的实际装调误差;将各镜片参数代入仿真系统,得到该镜组的理想仿真波面;对装调之后的镜筒进行测量得到实际波面,将理想仿真波面与实测波面进行比较,重新仿真得到的理想仿真波面与实测波面误差小于阈值,从而得到镜组装调误差。本发明的误差标定精度高,也极大地提高了整个光学系统的测量精度。

    使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置

    公开(公告)号:CN107024338B

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201610071045.7

    申请日:2016-02-01

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种使用棱镜分光的共光路点衍射同步移相干涉测试装置,包括沿光路依次设置的测试光路、4f系统光路、分光光路和移相光路。测试光路包括共光轴依次设置的激光器、扩束系统和被测样品,获得被测信息;4f系统光路包括两组分别位于干涉系统两臂的傅里叶透镜和反射镜,线偏振小孔衍射板设置在两个傅里叶透镜的共同焦点处,获得参考光和测试光;分光光路包括λ/4波片和三个分光棱镜组,将参考光和测试光等光程地分为四束;移相光路包括共光轴依次设置的缩束系统、偏振阵列和探测器,将光线缩束后用探测器接收,形成四幅干涉图像。本发明利用小孔形成球面波,测量精度高,并且为共光路系统,结构紧凑,抗振性好。

    一种基于反射式点衍射干涉仪的位相缺陷检测系统与方法

    公开(公告)号:CN106770335B

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201710123331.8

    申请日:2017-03-03

    IPC分类号: G01N21/88 G01N21/45

    摘要: 本发明公开了一种基于反射式点衍射干涉仪的位相缺陷检测系统与方法。该系统包括:点光源、相位采集组件和成像组件;方法为:首先用光纤激光器作为点光源产生一个标准球面波,该球面波经过准直透镜形成平面波,然后利用该平行波透过待测光学元件获取其位相缺陷信息;在待测光学元件后面依据待测元件与CCD靶面的共轭关系放置成像透镜,在该透镜的焦点处倾斜放置一个点衍射板,然后其透射光束经过成像透镜会聚到反射式点衍射板上,由点衍射板反射的参考光与测试光在CCD靶面上叠加,产生高密度线性载频的干涉图,结合无镜成像技术对此干涉图进行解调,即可获得准确的位相缺陷信息。本发明可以实现缺陷的高精度快速扫描检测和缺陷类型的判断。

    光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置

    公开(公告)号:CN106969845B

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201710191775.5

    申请日:2017-03-28

    IPC分类号: G01J9/02 G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置。检测方法如下:基于全光纤马赫曾德干涉仪的光路系统,在光纤端面放置反射镜使参考光与测试光返回光纤中,将参考臂光纤固定在压电陶瓷微位移器即PZT上;改变PZT电源输出电压从而拉伸光纤以改变光纤长度,使参考光与测试光返回到光电探测器中,通过示波器显示出来;使用移相法计算相位差小数部分,使用小数重合法计算出相位差整数部分,最终得到光程差。所述检测装置基于全光纤马赫曾德干涉仪,包括激光器、第一、第二光纤耦合器、光纤阵列、第一、第二反射镜、光电探测器、示波器和压电陶瓷微位移器。本发明能够准确、快速、有效地对光纤阵列点源发生器光程差进行检测。