- 专利标题: 用于组合来自多个计量工具的原始数据的系统、方法及计算机程序产品
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申请号: CN201580059581.9申请日: 2015-11-18
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公开(公告)号: CN107077644B公开(公告)日: 2021-07-20
- 发明人: S·潘戴夫 , T·奇乌拉 , A·舒杰葛洛夫
- 申请人: 科磊股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 科磊股份有限公司
- 当前专利权人: 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 张世俊
- 优先权: 62/082,097 20141119 US 14/942,738 20151116 US
- 国际申请: PCT/US2015/061425 2015.11.18
- 国际公布: WO2016/081656 EN 2016.05.26
- 进入国家日期: 2017-05-02
- 主分类号: G06N20/00
- IPC分类号: G06N20/00
摘要:
本发明提供一种用于组合来自多个计量工具的原始数据的系统、方法及计算机程序产品。获得关于培训组件的至少一个参数的参考值。利用第一计量工具及不同的第二计量工具收集关于所述培训组件的所述至少一个参数的信号。此外,将所述信号的至少一部分变换为一组信号,且针对所述培训组件的所述至少一个参数中的每一者,确定所述组信号与所述参考值之间的对应关系并据此创建对应培训模型。利用至少所述第一计量工具及所述第二计量工具从目标组件收集信号,且将每一所创建培训模型应用于从所述目标组件收集的所述信号以测量所述目标组件的参数值。
公开/授权文献
- CN107077644A 用于组合来自多个计量工具的原始数据的系统、方法及计算机程序产品 公开/授权日:2017-08-18