本发明公开了一种带有交叉轴耦合误差补偿的MEMS惯性测量单元，包括三个轴向MEMS模拟输出陀螺仪及其信号采集电路，实现对陀螺仪信号的采集；三个轴向MEMS数字输出加速度计及其信号采集电路，实现对加速度计输出信号的采集；陀螺数据转换模块，实现陀螺数据的模数转换；交叉轴耦合误差补偿模块实现对模拟输出陀螺仪和数字输出加速度计的数据处理；串口通信电路实现与上位机的通信；以及电源配置电路为整个测量单元各类提供各类供电电源。本发明不但可以实现对载体六轴位置信息的采集，而且还可以消除由加工、安装带来的交叉轴耦合误差。