Invention Publication
CN107304468A 成膜装置及成膜方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 成膜装置及成膜方法
- Patent Title (English): Film forming apparatus and film forming method
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Application No.: CN201710260831.6Application Date: 2017-04-20
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Publication No.: CN107304468APublication Date: 2017-10-31
- Inventor: 饭塚和孝
- Applicant: 丰田自动车株式会社
- Applicant Address: 日本爱知县丰田市
- Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee Address: 日本爱知县丰田市
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 高培培; 车文
- Priority: 2016-086810 2016.04.25 JP
- Main IPC: C23C14/04
- IPC: C23C14/04 ; C23C14/54

Abstract:
本发明提供成膜装置及成膜方法。对工件的一部分进行成膜的成膜装置,具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具配置于工件的上方,具备从工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,所述第二模具与第一模具对向而配置于工件的下方,在与第一平面部对应的部分具备第二平面部;第一密封部件,配置于第一平面部与工件之间,在使工件从第一平面部分离的状态下与第一平面部及工件接触;及第二密封部件,配置于第二平面部与工件之间,在使工件从第二平面部分离的状态下与第二平面部及工件接触。第二密封部件设置于工件的下表面。
Public/Granted literature
- CN107304468B 成膜装置及成膜方法 Public/Granted day:2019-11-15
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IPC分类: