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成膜装置及成膜方法
Abstract:
本发明提供成膜装置及成膜方法。对工件的一部分进行成膜的成膜装置,具备:成膜容器,具有第一模具和第二模具,所述第一模具配置于工件的上方,具备从工件的成膜对象部分观察向上方凹陷的第一凹陷部和配置于第一凹陷部的周围的第一平面部,所述第二模具与第一模具对向而配置于工件的下方,在与第一平面部对应的部分具备第二平面部;第一密封部件,配置于第一平面部与工件之间,在使工件从第一平面部分离的状态下与第一平面部及工件接触;及第二密封部件,配置于第二平面部与工件之间,在使工件从第二平面部分离的状态下与第二平面部及工件接触。第二密封部件设置于工件的下表面。
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