树脂密封装置和树脂密封方法
摘要:
本发明提供树脂密封装置和树脂密封方法。树脂密封装置具备:基板输送机构,其包括能够沿上下方向和水平方向移动的爪部和能够对载置在上述爪部上的基板进行保持的基板保持部;成形模,其包括上模、下模以及支承部,模腔形成于上述上模和上述下模中的至少一者,保持在上述爪部上的上述基板能被连同上述爪部一起沿着水平方向插入到上述上模与上述下模之间,该支承部能够在将上述爪部沿着水平方向自上述上模与上述下模之间拔出时支承上述基板;以及合模机构,其用于在将上述基板载置在上述下模上的状态下将上述上模和上述下模合模,从而在上述模腔内对上述基板进行树脂密封。
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