发明授权
- 专利标题: Ni系溅射靶材和磁记录介质
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申请号: CN201680013673.8申请日: 2016-03-10
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公开(公告)号: CN107408397B公开(公告)日: 2019-07-05
- 发明人: 长谷川浩之 , 松原庆明 , 新村梦树 , 泽田俊之
- 申请人: 山阳特殊制钢株式会社
- 申请人地址: 日本兵库县
- 专利权人: 山阳特殊制钢株式会社
- 当前专利权人: 山阳特殊制钢株式会社
- 当前专利权人地址: 日本兵库县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 张玉玲
- 优先权: 2015-049642 20150312 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/057596 2016.03.10
- 国际公布: WO2016/143858 JA 2016.09.15
- 进入国家日期: 2017-09-04
- 主分类号: G11B5/851
- IPC分类号: G11B5/851 ; C22C19/03 ; C22C19/07 ; C23C14/14 ; C23C14/34 ; G11B5/738 ; B22F3/14
摘要:
本发明以提供导磁率低,能够得到强漏磁通的在磁控管溅射中的使用效率高的Ni系溅射靶材为课题,为了解决这一课题,提供一种Ni系溅射靶材,是含有Fex-Niy-Coz-M系合金而构成的Ni系溅射靶材,其特征在于,所述合金中,作为M元素,含有从W、Mo、Ta、Cr、V和Nb中选择的一种或两种以上的M1元素,合计2~20at.%,含有从Al、Ga、In、Si、Ge、Sn、Zr、Ti、Hf、B、Cu、P、C和Ru中选择的一种或两种以上的M2元素,合计0~10at%,余量由Ni、还有Fe和Co之中的一种或两种、及不可避免的杂质构成,x+y+z=100时,x为0~50,y为20~98,并且,z为0~60,所述合金中,具有含Feα-Niβ-Coγ相而构成的微观组织,α+β+γ=100时,β为20~35,并且,γ为30以下,所述微观组织,含有在所述Feα-Niβ-Coγ相中固溶的M元素;和/或与Fe、Ni和Co之中的至少一种元素形成化合物的M元素而构成。
公开/授权文献
- CN107408397A Ni系溅射靶材和磁记录介质 公开/授权日:2017-11-28
IPC分类: