Ni系溅射靶材和磁记录介质
摘要:
本发明以提供导磁率低,能够得到强漏磁通的在磁控管溅射中的使用效率高的Ni系溅射靶材为课题,为了解决这一课题,提供一种Ni系溅射靶材,是含有Fex-Niy-Coz-M系合金而构成的Ni系溅射靶材,其特征在于,所述合金中,作为M元素,含有从W、Mo、Ta、Cr、V和Nb中选择的一种或两种以上的M1元素,合计2~20at.%,含有从Al、Ga、In、Si、Ge、Sn、Zr、Ti、Hf、B、Cu、P、C和Ru中选择的一种或两种以上的M2元素,合计0~10at%,余量由Ni、还有Fe和Co之中的一种或两种、及不可避免的杂质构成,x+y+z=100时,x为0~50,y为20~98,并且,z为0~60,所述合金中,具有含Feα-Niβ-Coγ相而构成的微观组织,α+β+γ=100时,β为20~35,并且,γ为30以下,所述微观组织,含有在所述Feα-Niβ-Coγ相中固溶的M元素;和/或与Fe、Ni和Co之中的至少一种元素形成化合物的M元素而构成。
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