- 专利标题: 一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统
- 专利标题(英): Mirau-type wide-field-of-view interference microscopic objective optical system
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申请号: CN201710528486.X申请日: 2017-07-01
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公开(公告)号: CN107450173A公开(公告)日: 2017-12-08
- 发明人: 袁群 , 别枢佑 , 高志山 , 王帅 , 胡捷
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 薛云燕
- 主分类号: G02B21/02
- IPC分类号: G02B21/02 ; G02B21/00 ; G02B13/00 ; G01B11/24
摘要:
本发明公开了一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统。该系统包括沿同一光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、参考板和分光板;照明光依次通过第一~第八透镜和参考板,在分光板处被分为两束,一束入射到参考平板表面返回,另一束入射到待测件表面返回,两束发射光在分光板处重合后发生干涉,根据产生的干涉条纹分析待测件的微观特性。该系统放大倍率为0.5X,数值孔径为0.015,入瞳直径为12毫米,焦距为400毫米,齐焦距离为280毫米,视场可达48毫米。本发明光学系统结构简单、成像质量好,适用于相干扫描干涉法,可用于测量粗糙表面的三维形貌。
公开/授权文献
- CN107450173B 一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统 公开/授权日:2020-06-09