一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统
摘要:
本发明公开了一种Mirau型宽视场干涉显微物镜光学系统。该系统包括沿同一光轴顺次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、参考板和分光板;照明光依次通过第一~第八透镜和参考板,在分光板处被分为两束,一束入射到参考平板表面返回,另一束入射到待测件表面返回,两束发射光在分光板处重合后发生干涉,根据产生的干涉条纹分析待测件的微观特性。该系统放大倍率为0.5X,数值孔径为0.015,入瞳直径为12毫米,焦距为400毫米,齐焦距离为280毫米,视场可达48毫米。本发明光学系统结构简单、成像质量好,适用于相干扫描干涉法,可用于测量粗糙表面的三维形貌。
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