- 专利标题: 含硅酮骨架高分子化合物、光固化性树脂组合物、光固化性干膜、积层体、及图案形成方法
- 专利标题(英): Silicone skeleton-containing polymer, photo-curable resin composition, photo-curable dry film, laminate, and patterning method
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申请号: CN201710209017.1申请日: 2017-03-31
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公开(公告)号: CN107556480A公开(公告)日: 2018-01-09
- 发明人: 丸山仁 , 近藤和纪 , 菅生道博
- 申请人: 信越化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 张永康
- 优先权: 2016-130447 2016.06.30 JP
- 主分类号: C08G77/388
- IPC分类号: C08G77/388 ; G03F7/038 ; G03F7/004 ; H01L21/02
摘要:
本发明所要解决的问题在于,提供一种含硅酮骨架高分子化合物、包含该高分子化合物的光固化性树脂组合物、其光固化性干膜、使用它们的积层体、及图案形成方法,所述硅酮骨架高分子化合物能够以厚膜容易地实行微细图案的形成,并且,能够形成一种作为电性/电子零件保护用皮膜、或基板接合用皮膜等的可靠性优良的固化物层(固化皮膜),其耐开裂性、及对于基板、电子零件或半导体元件等、尤其是对在电路基板中使用的基材的密接性等各种膜特性优良。本发明的解决问题的技术方案是一种含硅酮骨架高分子化合物,其由下述式(1)表示,包含硅酮骨架且重均分子量为3000~500000。
公开/授权文献
- CN107556480B 含硅酮骨架高分子化合物、光固化性树脂组合物、光固化性干膜、积层体、及图案形成方法 公开/授权日:2021-09-14