本发明公开了一种基于动态分时倾斜载频干涉的面形检测装置及检测方法，根据被检元件的面形，计算出所需要的空间干涉点源阵列位置，采用Tip/Tilt镜产生分时空间干涉点源阵列，每调整一次Tip/Tilt镜的空间姿态，实现一个空间点源的布置。通过设计好的姿态调整位置，依次完成所规划空间点源的扫描。解算干涉条纹，完成被检元件的面形重构，从而实现本发明的高精度面形元件的面形测量。本发明的优点在于采用Tip/Tilt镜的偏摆使其产生轴外倾斜，保证了理想点光源的标准球面波特性；干涉源阵列的空间尺寸不受限制，解决大口径测量的难题；分时动态产生任意分布的轴外干涉点源阵列，提高测量通用性；使干涉源全部利用激光能量，简化系统结构。