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公开(公告)号：CN108362222B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201810083474.5
申请日：2018-01-29
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明提出了一种基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，包括线偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列、待测件以及干涉图像采集系统，所述偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列依次共第一光轴设置，所述待测件位于第二光轴，第二光轴与第一光轴夹角为每根光纤出射光束发散角的四分之一，所述待测件的最佳拟合球面曲率中心与光纤阵列端面中心重合。本发明利用光纤阵列构成点衍射阵，产生多向倾斜载频的波面补偿被测件表面梯度，解决干涉法测量复杂面形元件时干涉条纹密度过大，无法解算的问题。
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公开(公告)号：CN107505684B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201710741132.3
申请日：2017-08-25
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种镜组的装调方法。该方法步骤如下：根据镜组参数设定镜筒的尺寸，与每个镜片对应的镜筒壁沿周向均匀设置四个调整螺丝；装调时，首先利用杠杆表调整镜筒与中心偏测量仪的位置，调整工作台与中心激光光束光轴的水平位置与俯仰位置；其次，通过调整螺丝对第一个镜片的光轴进行调整，采用隔圈固定后置入下一个镜片继续进行光轴调整；并记录各镜片的实际装调误差；将各镜片参数代入仿真系统，得到该镜组的理想仿真波面；对装调之后的镜筒进行测量得到实际波面，将理想仿真波面与实测波面进行比较，重新仿真得到的理想仿真波面与实测波面误差小于阈值，从而得到镜组装调误差。本发明的误差标定精度高，也极大地提高了整个光学系统的测量精度。
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公开(公告)号：CN106969845B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201710191775.5
申请日：2017-03-28
申请人： 南京理工大学
摘要： 本发明公开了一种光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置。检测方法如下：基于全光纤马赫曾德干涉仪的光路系统，在光纤端面放置反射镜使参考光与测试光返回光纤中，将参考臂光纤固定在压电陶瓷微位移器即PZT上；改变PZT电源输出电压从而拉伸光纤以改变光纤长度，使参考光与测试光返回到光电探测器中，通过示波器显示出来；使用移相法计算相位差小数部分，使用小数重合法计算出相位差整数部分，最终得到光程差。所述检测装置基于全光纤马赫曾德干涉仪，包括激光器、第一、第二光纤耦合器、光纤阵列、第一、第二反射镜、光电探测器、示波器和压电陶瓷微位移器。本发明能够准确、快速、有效地对光纤阵列点源发生器光程差进行检测。
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公开(公告)号：CN109059802B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810877609.5
申请日：2018-08-03
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开一种基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统的误差标定方法，步骤如下：第一步，搭建基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统，第二步，调整tip/tilt镜的空间位置及姿态，设定初始位置，第三步，绘制泽尼克前36项各项系数与偏摆角度的关系曲线；第四步，得到泽尼克前36项各项系数在tip/tilt镜不同偏摆方向及不同偏摆角度下的系数值；第五步，利用第四步所获得的结果，得到该系统中tip/tilt镜在任意偏摆状态下，系统的输出波前信息，从而实现对系统误差的标定。该方法具有动态、高效、通用性强等优点。
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公开(公告)号：CN108592820B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810487033.1
申请日：2018-05-21
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法，用于解决大梯度变化的光学自由曲面元件面形高精度检测的问题。本发明将待测光学自由曲面元件的面形分为两部分：非球面面形和剩余自由曲面面形。其中非球面面形通过在测试光路中放置的CGH生成一个旋转对称非球面波前，补偿该待测自由曲面元件的非球面变化部分。而剩余自由曲面面形通过在参考光路中放置的纯相位型反射式空间光调制器动态调制补偿。本发明的优点在于通过动态波前调制结合静态CGH补偿的方式，有效解决了大梯度变化波前生成难得问题，且提高了系统通用性；提高了波前调制精度，且属于零位干涉，测量精度高；可建立在原有的CGH测量系统光路中，装置简单易实现。
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公开(公告)号：CN107560565B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710735650.4
申请日：2017-08-24
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种基于动态分时倾斜载频干涉的面形检测装置及检测方法，根据被检元件的面形，计算出所需要的空间干涉点源阵列位置，采用Tip/Tilt镜产生分时空间干涉点源阵列，每调整一次Tip/Tilt镜的空间姿态，实现一个空间点源的布置。通过设计好的姿态调整位置，依次完成所规划空间点源的扫描。解算干涉条纹，完成被检元件的面形重构，从而实现本发明的高精度面形元件的面形测量。本发明的优点在于采用Tip/Tilt镜的偏摆使其产生轴外倾斜，保证了理想点光源的标准球面波特性；干涉源阵列的空间尺寸不受限制，解决大口径测量的难题；分时动态产生任意分布的轴外干涉点源阵列，提高测量通用性；使干涉源全部利用激光能量，简化系统结构。
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公开(公告)号：CN109059802A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810877609.5
申请日：2018-08-03
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/2441
摘要： 本发明公开一种基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统的误差标定方法，步骤如下：第一步，搭建基于Tip\Tilt镜的动态角度调制干涉系统，第二步，调整tip/tilt镜的空间位置及姿态，设定初始位置，第三步，绘制泽尼克前36项各项系数与偏摆角度的关系曲线；第四步，得到泽尼克前36项各项系数在tip/tilt镜不同偏摆方向及不同偏摆角度下的系数值；第五步，利用第四步所获得的结果，得到该系统中tip/tilt镜在任意偏摆状态下，系统的输出波前信息，从而实现对系统误差的标定。该方法具有动态、高效、通用性强等优点。
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公开(公告)号：CN108592820A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810487033.1
申请日：2018-05-21
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种基于动态波前调制结合计算全息片的干涉面形检测方法，用于解决大梯度变化的光学自由曲面元件面形高精度检测的问题。本发明将待测光学自由曲面元件的面形分为两部分：非球面面形和剩余自由曲面面形。其中非球面面形通过在测试光路中放置的CGH生成一个旋转对称非球面波前，补偿该待测自由曲面元件的非球面变化部分。而剩余自由曲面面形通过在参考光路中放置的纯相位型反射式空间光调制器动态调制补偿。本发明的优点在于通过动态波前调制结合静态CGH补偿的方式，有效解决了大梯度变化波前生成难得问题，且提高了系统通用性；提高了波前调制精度，且属于零位干涉，测量精度高；可建立在原有的CGH测量系统光路中，装置简单易实现。
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公开(公告)号：CN108362222A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810083474.5
申请日：2018-01-29
申请人： 南京理工大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明提出了一种基于多向倾斜载频的非零位新型点衍射干涉测量系统，包括线偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列、待测件以及干涉图像采集系统，所述偏振激光光源、光纤耦合器模块、光纤阵列依次共第一光轴设置，所述待测件位于第二光轴，第二光轴与第一光轴夹角为每根光纤出射光束发散角的四分之一，所述待测件的最佳拟合球面曲率中心与光纤阵列端面中心重合。本发明利用光纤阵列构成点衍射阵，产生多向倾斜载频的波面补偿被测件表面梯度，解决干涉法测量复杂面形元件时干涉条纹密度过大，无法解算的问题。
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公开(公告)号：CN106969845A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710191775.5
申请日：2017-03-28
申请人： 南京理工大学
CPC分类号： G01J9/02 , G01J2009/0288 , G01M11/3136
摘要： 本发明公开了一种光纤阵列型点源发生器各光束光程差的检测方法及装置。检测方法如下：基于全光纤马赫曾德干涉仪的光路系统，在光纤端面放置反射镜使参考光与测试光返回光纤中，将参考臂光纤固定在压电陶瓷微位移器即PZT上；改变PZT电源输出电压从而拉伸光纤以改变光纤长度，使参考光与测试光返回到光电探测器中，通过示波器显示出来；使用移相法计算相位差小数部分，使用小数重合法计算出相位差整数部分，最终得到光程差。所述检测装置基于全光纤马赫曾德干涉仪，包括激光器、第一、第二光纤耦合器、光纤阵列、第一、第二反射镜、光电探测器、示波器和压电陶瓷微位移器。本发明能够准确、快速、有效地对光纤阵列点源发生器光程差进行检测。
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