发明公开
- 专利标题: 一种薄膜太阳能电池用光伏背板玻璃的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method for photovoltaic back plate glass used for thin-film solar cell
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申请号: CN201710795836.9申请日: 2017-09-06
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公开(公告)号: CN107601921A公开(公告)日: 2018-01-19
- 发明人: 彭寿 , 马立云 , 姚婷婷 , 李刚 , 彭赛奥 , 杨勇 , 金克武 , 王天齐 , 沈洪雪 , 杨扬 , 甘治平
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 陈俊
- 主分类号: C03C17/36
- IPC分类号: C03C17/36 ; H01L31/0392 ; H01L31/049
摘要:
本发明公开一种薄膜太阳能电池用光伏背板玻璃的制备方法,包括以下步骤:选取高应变点玻璃作为玻璃基底,高应变点玻璃的应变点≥575℃、软化点≥800℃;通过磁控溅射,在玻璃基底顶面由下至上依次溅射生长80~120nm厚度的SiN膜层、50~90nm厚度的CuZn膜层、30~60nm厚度的ZnAl膜层、15~35nm厚度的降阻膜层、20~50nm厚度的防腐蚀膜层及35~65nm厚度的Mo膜层,得到所述光伏背板玻璃;降阻膜层为Ti膜层或Cu膜层;防腐蚀膜层为MoN、MoO、TiN或TiON膜层;通过该方法制备得到的背板玻璃具有高应变点、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点,且多层膜结构与玻璃基底附着强度高,能够阻挡玻璃基底中Na+向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。