一种薄膜太阳能电池用光伏背板玻璃的制备方法
摘要:
本发明公开一种薄膜太阳能电池用光伏背板玻璃的制备方法,包括以下步骤:选取高应变点玻璃作为玻璃基底,高应变点玻璃的应变点≥575℃、软化点≥800℃;通过磁控溅射,在玻璃基底顶面由下至上依次溅射生长80~120nm厚度的SiN膜层、50~90nm厚度的CuZn膜层、30~60nm厚度的ZnAl膜层、15~35nm厚度的降阻膜层、20~50nm厚度的防腐蚀膜层及35~65nm厚度的Mo膜层,得到所述光伏背板玻璃;降阻膜层为Ti膜层或Cu膜层;防腐蚀膜层为MoN、MoO、TiN或TiON膜层;通过该方法制备得到的背板玻璃具有高应变点、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点,且多层膜结构与玻璃基底附着强度高,能够阻挡玻璃基底中Na+向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。
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