发明公开
- 专利标题: 一种多晶硅薄膜的制备方法及其产物和包含该多晶硅薄膜的太阳能电池
- 专利标题(英): Preparation method of polycrystalline silicon film, product of preparation method and solar cell comprising polycrystalline silicon film
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申请号: CN201710696833.X申请日: 2017-08-15
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公开(公告)号: CN107611005A公开(公告)日: 2018-01-19
- 发明人: 闫宝杰 , 叶继春 , 曾俞衡 , 高平奇 , 廖明墩 , 王丹 , 童慧 , 韩灿
- 申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 申请人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
- 代理机构: 宁波市鄞州甬致专利代理事务所
- 代理商 杨秀芳
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L31/20 ; H01L31/0368
摘要:
本发明提供了一种多晶硅薄膜的制备方法,其特征在于,包括:(a)沉积非晶硅薄膜;(b)采用脉冲光照射上述非晶硅薄膜,使其晶化。本发明还提供了上述制备方法的产物和包含该产物的太阳能电池。本发明处理温度低,处理时间短,可有效减少非晶硅薄膜中的杂质元素扩散,减少对相邻层材料的破坏和影响,使器件获得较优性能。
IPC分类: