一种绒面多层膜透明导电玻璃
摘要:
本发明公开一种绒面多层膜透明导电玻璃,包括玻璃基底,玻璃基底顶面由下至上依次设有下ZnO基薄膜与上ZnO基薄膜,上ZnO基薄膜表面设有一组离散分布的球坑,使上ZnO基薄膜表面呈凹凸的织构化结构;上ZnO基薄膜的厚度小于球坑的直径;通过离散分布的球坑,在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构,从而得到高透过率、低电阻率的多层膜透明导电玻璃;制作时,可以先在下ZnO基薄膜表面制备单层离散的聚苯乙烯小球层,然后利用聚苯乙烯小球层作为掩膜,溅射生长上ZnO基薄膜,之后去除聚苯乙烯小球,即在上ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构;由于聚苯乙烯小球层的直径与浓度可控,因而使得上ZnO基薄膜表面的微结构可控,调节ZnO基薄膜的雾度。
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