一种多晶硅生产过程中富余蒸汽利用方法
摘要:
本发明公开一种多晶硅生产过程中富余蒸汽利用方法,其特征在于,包括将生产过程中产生的富余蒸汽分别提供给制冷系统和清洗机水槽对其进行加热,所述制冷系统利用蒸汽中的水分进行制冷,所述清洗机水槽利用蒸汽中的热量对所述清洗机水槽进行加热。本发明提供的多晶硅生产过程中富余蒸汽的利用方法实现了蒸汽的分级综合利用,将蒸汽中的热量和水分有效利用到其他生产设备中,节能了能源,降低了生产成本。
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