三维测量装置
摘要:
提供三维测量装置,当利用相移法进行三维测量时,能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括:照明装置(4),从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案;相机(5),拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分;控制装置(6),实施基板检查装置(1)中的各种控制和图像处理、运算处理。并且,移动投影到印刷基板(2)上的条纹图案,并分多次拍摄该移动的条纹图案,针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加,算出其平均值。
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