发明公开
- 专利标题: 三维测量装置
- 专利标题(英): Three-dimensional measurement device
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申请号: CN201680046181.9申请日: 2016-07-08
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公开(公告)号: CN107923736A公开(公告)日: 2018-04-17
- 发明人: 梅村信行 , 大山刚 , 坂井田宪彦 , 奥田学
- 申请人: CKD株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: CKD株式会社
- 当前专利权人: CKD株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理商 金美莲
- 优先权: 2015-231661 2015.11.27 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/070238 2016.07.08
- 国际公布: WO2017/090268 JA 2017.06.01
- 进入国家日期: 2018-02-06
- 主分类号: G01B11/25
- IPC分类号: G01B11/25
摘要:
提供三维测量装置,当利用相移法进行三维测量时,能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括:照明装置(4),从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案;相机(5),拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分;控制装置(6),实施基板检查装置(1)中的各种控制和图像处理、运算处理。并且,移动投影到印刷基板(2)上的条纹图案,并分多次拍摄该移动的条纹图案,针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加,算出其平均值。
公开/授权文献
- CN107923736B 三维测量装置 公开/授权日:2020-01-24