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公开(公告)号：CN108139208B
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201680060278.5
申请日：2016-06-01
申请人： CKD株式会社
摘要： 提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括：照明装置(4)，从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案；相机(5)，拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分；以及控制装置(6)，实施基板检查装置(1)内的各种控制和图像处理、运算处理。并且，将光栅板(4b)移动到预定位置，使其暂时停止，并且在包含该光栅板(4b)的停止期间和该停止期间开始前的光栅板(4b)的移动期间的一部分的预定期间分多次拍摄投影到印刷基板(2)的条纹图案，针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加，算出其平均值。
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公开(公告)号：CN109315090A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780036475.8
申请日：2017-04-13
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： H05K13/04
摘要： 提供能够实现基板的位置检测的高速化并且抑制生产率下降等的基板位置检测装置。焊料印刷检查装置(基板位置检测装置)在检查开始前进行印刷基板的位置检测处理。在该位置检测处理中，首先拍摄印刷基板上的第一识别标记。之后，在使检查单元(相机)向与第二识别标记对应的位置相对移动的期间，基于通过之前的拍摄得到的图像数据执行与第一识别标记有关的识别处理。之后，拍摄第二识别标记，基于该图像数据进行第二识别标记的识别处理。这里，在第一识别标记和第二识别标记中的至少一者识别失败的情况下，执行重试处理。
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公开(公告)号：CN107238608A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201611151839.0
申请日：2016-12-13
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01N21/956
摘要： 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的印刷基板(P1)的上表面侧的检查处理、以及由下表面检查单元(4)进行的印刷基板(P1)的下表面侧的检查处理。
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公开(公告)号：CN110291359B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201780086352.5
申请日：2017-08-28
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/956
摘要： 提供一种能够抑制三维测量中的测量精度的降低的三维测量装置。基板检查装置(1)包括：对印刷基板(2)投影条纹图案的投影装置(4)；对印刷基板(2)上的被投影了条纹图案的部分进行拍摄的相机(5)；以及实施基板检查装置(1)内的各种控制的控制装置(6)。投影装置(4)包括发出预定的光的光源(4a)、将来自该光源(4a)的光变换为条纹图案的DMD(4b)等，并每单位时间以预定帧数将条纹图案投影到印刷基板(2)上。控制装置(6)在预定数量帧的条纹图案投影期间的前后设定能够投影预定的全黑图案的一帧的全黑图案投影期间，在条纹图案投影期间前的全黑图案投影期间中开始相机(5)的拍摄处理，在条纹图案投影期间后的全黑图案投影期间中结束相机(5)的拍摄处理。
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公开(公告)号：CN107957235B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201710496003.2
申请日：2017-06-26
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明提供一种三维测量装置，能够实现在进行基于相移法的三维测量时测量效率的提高以及抑制测量精度的降低等。基板检查装置(10)包括运送印刷基板(1)的输送机(13)、针对印刷基板(1)从斜上方照射图案光的照明装置(14)、以及对被照射了该图案光的印刷基板(1)进行拍摄的相机(15)。作为相机(15)的拍摄元件(15b)使用将拍摄区域两分割并从分别不同的通道并行地进行来自该两个区域的输出的CCD区域传感器。并且，印刷基板(1)每被运送预定量，获取在相位按每预定量发生了变化的图案光下拍摄的四种数据。之后，基于从拍摄元件(15b)的同一通道获取的多个数据针对印刷基板(1)上的各坐标位置进行基于相移法的三维测量。
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公开(公告)号：CN110291359A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201780086352.5
申请日：2017-08-28
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/956
摘要： 提供一种能够抑制三维测量中的测量精度的降低的三维测量装置。基板检查装置(1)包括：对印刷基板(2)投影条纹图案的投影装置(4)；对印刷基板(2)上的被投影了条纹图案的部分进行拍摄的相机(5)；以及实施基板检查装置(1)内的各种控制的控制装置(6)。投影装置(4)包括发出预定的光的光源(4a)、将来自该光源(4a)的光变换为条纹图案的DMD(4b)等，并每单位时间以预定帧数将条纹图案投影到印刷基板(2)上。控制装置(6)在预定数量帧的条纹图案投影期间的前后设定能够投影预定的全黑图案的一帧的全黑图案投影期间，在条纹图案投影期间前的全黑图案投影期间中开始相机(5)的拍摄处理，在条纹图案投影期间后的全黑图案投影期间中结束相机(5)的拍摄处理。
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公开(公告)号：CN107219237B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201611151722.2
申请日：2016-12-13
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/01 , G01B11/25
摘要： 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由下表面检查单元(4)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理。
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公开(公告)号：CN108139208A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680060278.5
申请日：2016-06-01
申请人： CKD株式会社
摘要： 提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括：照明装置(4)，从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案；相机(5)，拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分；以及控制装置(6)，实施基板检查装置(1)内的各种控制和图像处理、运算处理。并且，将光栅板(4b)移动到预定位置，使其暂时停止，并且在包含该光栅板(4b)的停止期间和该停止期间开始前的光栅板(4b)的移动期间的一部分的预定期间分多次拍摄投影到印刷基板(2)的条纹图案，针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加，算出其平均值。
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公开(公告)号：CN107923736A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680046181.9
申请日：2016-07-08
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01B11/25
摘要： 提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括：照明装置(4)，从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案；相机(5)，拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分；控制装置(6)，实施基板检查装置(1)中的各种控制和图像处理、运算处理。并且，移动投影到印刷基板(2)上的条纹图案，并分多次拍摄该移动的条纹图案，针对各像素将该拍摄的一连串的图像数据的各像素的亮度值相加，算出其平均值。
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公开(公告)号：CN107219237A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201611151722.2
申请日：2016-12-13
申请人： CKD株式会社
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/01 , G01B11/25
摘要： 本发明提供一种能够实现基板的两面检查涉及的检查精度的提高，并且能够实现检查的高速化的基板检查装置。基板检查装置(1)具有用于进行印刷基板(P1)的上表面侧的检查的上表面检查单元(3)、以及用于进行印刷基板(P1)的下表面侧的检查的下表面检查单元(4)。各检查单元(3、4)具有分别对印刷基板(P1)照射条纹图案的检查照明(3A、4A)等、以及拍摄印刷基板(P1)的检查相机(3C、4C)。并且，交替性进行由上表面检查单元(3)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理、以及由下表面检查单元(4)进行的预定的检查范围涉及的多个拍摄处理中的一次拍摄处理。
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