耐湿气的保护层

发明公开

摘要：

本发明的主题是具有耐潮湿的保护层的压电陶瓷的多层式执行器及其制造方法。

摘要（英）：

The invention relates to a piezoceramic multi-layered actuator having a moisture-repellent protective layer, and to a method for producing same.

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L41/00	一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件(由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L41/02	.零部件
H01L41/04	..压电器件的或电致伸缩器件的
H01L41/053	...安装架、支架、封装或外壳