公开(公告)号：CN107924991A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048956.6

申请日：2016-08-26

申请人： 陶瓷技术有限责任公司

发明人： H-J.施赖纳 ,  T.艾因黑林格-米勒 ,  T.施密德 ,  R.莫斯 ,  M.舒伯特

IPC分类号： H01L41/314

CPC分类号： H01L41/319 ,  C01G25/006 ,  C01P2006/40 ,  C23C24/04 ,  C23C28/32 ,  C23C28/345 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/314

摘要： 本发明涉及具有压电特性的层和具有压电特性的层的制造方法，特别是借助于气溶胶沉积方法（ADM-方法）。

公开(公告)号：CN107924988A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048796.5

申请日：2016-08-26

申请人： 陶瓷技术有限责任公司

发明人： H-J.施赖纳 ,  T.艾因赫林格-米勒 ,  T.施密特 ,  R.莫斯 ,  M.舒伯特 ,  R.宾迪希

IPC分类号： H01L41/053 ,  H01L41/23

CPC分类号： H01L41/0533 ,  H01L41/083 ,  H01L41/23

摘要： 本发明的主题是具有耐潮湿的保护层的压电陶瓷的多层式执行器及其制造方法。