公开(公告)号：CN105452829A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480046218.9

申请日：2014-08-18

申请人： 陶瓷技术有限责任公司

发明人： R.宾迪希 ,  T.施密特 ,  H-J.施赖纳

IPC分类号： G01L1/14 ,  G01L1/16

CPC分类号： G01L1/142 ,  G01L1/14 ,  G01L1/16

摘要： 本发明涉及一种用于利用由压电的材料制成的压力传感器来测量力的方法、装置以及用途。为了使得对于测量而言不需要电荷放大器并且由此使测量系统总体上小型化，提议使用压力传感器的电容的变化以用于力测量。

公开(公告)号：CN105452829B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201480046218.9

申请日：2014-08-18

申请人： 陶瓷技术有限责任公司

发明人： R.宾迪希 ,  T.施密特 ,  H-J.施赖纳

IPC分类号： G01L1/14 ,  G01L1/16

CPC分类号： G01L1/142 ,  G01L1/14 ,  G01L1/16

摘要： 本发明涉及一种用于利用由压电的材料制成的压力传感器来测量力的方法、装置以及用途。为了使得对于测量而言不需要电荷放大器并且由此使测量系统总体上小型化，提议使用压力传感器的电容的变化以用于力测量。

公开(公告)号：CN107924988A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048796.5

申请日：2016-08-26

申请人： 陶瓷技术有限责任公司

发明人： H-J.施赖纳 ,  T.艾因赫林格-米勒 ,  T.施密特 ,  R.莫斯 ,  M.舒伯特 ,  R.宾迪希

IPC分类号： H01L41/053 ,  H01L41/23

CPC分类号： H01L41/0533 ,  H01L41/083 ,  H01L41/23

摘要： 本发明的主题是具有耐潮湿的保护层的压电陶瓷的多层式执行器及其制造方法。