彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物

发明授权

CN108027569B 彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物有权

摘要：

本发明涉及彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物，更详细地说涉及显影力优秀，并且能够更均匀地形成图案且不会在显影后在基板上留下光致抗蚀剂残留物的彩色滤光片图像传感器用显影剂组合物。

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/26	.感光材料的处理及其设备（G03F7/12至G03F7/24优先）
G03F7/30	..用液体消除影像的
G03F7/32	...所用的液体成分，例如，显影剂