Invention Grant
- Patent Title: 三维测量装置
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Application No.: CN201680056014.2Application Date: 2016-08-31
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Publication No.: CN108139206BPublication Date: 2020-01-24
- Inventor: 梅村信行 , 大山刚 , 坂井田宪彦 , 二村伊久雄
- Applicant: CKD株式会社
- Applicant Address: 日本爱知县
- Assignee: CKD株式会社
- Current Assignee: CKD株式会社
- Current Assignee Address: 日本爱知县
- Agency: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- Agent 金美莲
- Priority: 2015-251053 2015.12.24 JP
- International Application: PCT/JP2016/075511 2016.08.31
- International Announcement: WO2017/110146 JA 2017.06.29
- Date entered country: 2018-03-26
- Main IPC: G01B11/25
- IPC: G01B11/25 ; G06T1/00

Abstract:
提供三维测量装置,当利用相移法进行三维测量时,能够显著地提高测量精度。基板检查装置(10)包括:运送印刷基板(1)的输送机(13);向印刷基板(1)的表面从斜上方照射预定的光的照明装置(14);以及拍摄被照射了该光的印刷基板(1)的相机(15)。并且,当获取通过相移法进行三维测量时所需的四组图像数据中的一个图像数据时,向被连续运送的印刷基板(1)照射具有矩形波状或梯形波状的光强度分布的条纹图案。并且,将每当印刷基板(1)被运送预定量时被拍摄的多次的图像数据的亮度值针对印刷基板(1)的各坐标位置进行相加,算出其平均值。
Public/Granted literature
- CN108139206A 三维测量装置 Public/Granted day:2018-06-08
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