本发明公开了一种提高压电叠堆式驱动器定位精度的方法，将初始算子与初始算子权值相结合，建立静态对称的初始模型，通过引入饱和算子及饱和算子权值，改进静态模型，使得模型可以描述非对称迟滞现象；在非对称静态模型的基础上求得静态逆模型参数，即逆模型的初始算子权值与饱和算子的权值；对逆模型初始算子权值和饱和算子权值进行曲线拟合，得到动态的逆模型初始算子权值与饱和算子权值，建立动态的逆模型；将动态逆模型作为前馈控制器，来补偿压电叠堆式驱动器的迟滞特性，并且加入反馈控制,提高压电叠堆式驱动器的定位精度。