一种半导体装置的布局系统，包括处理器和计算机可读取媒体。计算机可读取媒体连接至处理器。计算机可读取媒体配置以储存多个指令。处理器是配置以执行指令，以根据在由设计文件所指出的半导体装置中的单元(Cell)的至少一个参数，来决定指出通孔柱结构的布局图案，此通孔柱结构符合电迁移规则。通孔柱结构包含多个金属层和至少一个通孔，此至少一个通孔耦合至上述金属层。处理器更配置以执行指令，以将指出通孔柱结构的布局图案包含于设计文件中。处理器更配置以执行指令，以产生指出设计文件的数据，来制造前述的半导体装置。