一种具备快速泄放信号功能的CCD
摘要:
本发明属于半导体器件技术领域,主要涉及一种具备快速泄放信号功能的CCD,包括硅衬底,所述硅衬底上邻近设置有转移区和光敏区,其特征在于:所述转移区范围内的硅衬底表面上设置有多晶硅转移栅,多晶硅转移栅表面覆盖有遮光层,遮光层表面淀积有回流层,所述回流层将光敏区覆盖;所述遮光层采用难熔金属或难熔金属合金制作,还包括快速泄放区、以及水平信号通道区,所述快速泄放区设置于光敏区与水平信号通道区之间,本发明利用CCD设置的快速泄放区消除行信号,实现CCD具备开窗功能,减少CCD传送及计算机需要处理的图像信息量,提高CCD帧频。
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