一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种钽酸锂窄带气体探测器及其制备方法,属于气体探测领域,钽酸锂窄带气体探测器,包括从下至上的下电极、钽酸锂晶片、金背板、介质层和天线阵列,所述天线阵列为多个呈阵列分布的天线,用于吸收光;所述介质层,用于使吸收的光产生共振得到电磁能量;所述金背板,用于将电磁能量转换成焦耳热;所述钽酸锂晶片,用于吸收焦耳热释放正负电荷;所述下电极,用于吸收负电荷;所述金背板,还用于吸收正电荷;探测器根据正负电荷得到电信号,根据电信号实现对气体浓度和种类的探测。本发明具有波长选择性、能够检测多种气体、同时探测多种气体时成本低且易封装。
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