发明公开
- 专利标题: 合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法
- 专利标题(英): Synthetic quartz glass lid precursor, synthetic quartz glass lid, and preparation methods thereof
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申请号: CN201810093784.5申请日: 2018-01-31
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公开(公告)号: CN108376673A公开(公告)日: 2018-08-07
- 发明人: 松井晴信 , 原田大实 , 竹内正树
- 申请人: 信越化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 何杨
- 优先权: 2017-015449 2017.01.31 JP
- 主分类号: H01L23/29
- IPC分类号: H01L23/29 ; H01L21/56 ; C03B20/00 ; C03C3/06
摘要:
本发明涉及合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法。通过以下方法制备用于光学器件封装的合成石英玻璃盖:配置包括合成石英玻璃基底(1)和金属膜或金属化合物膜(2)的合成石英玻璃盖前体,和在金属膜或金属化合物膜(2)上形成金属系粘结层(3)。该金属膜或金属化合物膜含有Ag、Bi和选自P、Sb、Sn和In中的至少一种元素。
公开/授权文献
- CN108376673B 合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法 公开/授权日:2023-06-27