Invention Publication
- Patent Title: 一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品
- Patent Title (English): Preparation method and product of quartz crystal microbalance humidity sensor
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Application No.: CN201810633969.0Application Date: 2018-06-20
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Publication No.: CN108982277APublication Date: 2018-12-11
- Inventor: 廖广兰 , 林建斌 , 谭先华 , 史铁林 , 汤自荣
- Applicant: 华中科技大学
- Applicant Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee: 华中科技大学
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- Agency: 华中科技大学专利中心
- Agent 张彩锦; 曹葆青
- Main IPC: G01N5/02
- IPC: G01N5/02

Abstract:
本发明属于湿度传感器技术领域,并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品,所述方法包括,S1、种子层制备:在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层,用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料;S2、湿敏层制备:将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平水平置于NaOH和(NH4)2S2O4的混合溶液中,以在所述Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线,从而获得石英晶体微天平湿度传感器件。所述产品包括石英晶体微天平、设于所述石英晶体微天平正面和/或反面的种子层以及生长于所述种子层上的纳米线。本发明制备形成的湿度传感器响应速度小于1s,具有高响应性、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特点。
Public/Granted literature
- CN108982277B 一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品 Public/Granted day:2020-05-19
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