一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品
Abstract:
本发明属于湿度传感器技术领域,并具体公开了一种石英晶体微天平湿度传感器的制备方法及产品,所述方法包括,S1、种子层制备:在石英晶体微天平上沉积一层Cu种子层,用于后续生长超亲水纳米线作为湿敏层材料;S2、湿敏层制备:将沉积有所述Cu种子层的石英晶体微天平水平置于NaOH和(NH4)2S2O4的混合溶液中,以在所述Cu种子层上生长超亲水Cu(OH)2纳米线,从而获得石英晶体微天平湿度传感器件。所述产品包括石英晶体微天平、设于所述石英晶体微天平正面和/或反面的种子层以及生长于所述种子层上的纳米线。本发明制备形成的湿度传感器响应速度小于1s,具有高响应性、灵敏度高、重复性好、性能稳定等特点。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0