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公开(公告)号：CN112028010B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202010899353.5
申请日：2020-08-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳结构相关技术领域，并具体公开了一种大面积高耐用性超疏水表面结构的制备方法及其产品。该方法包括：在基底表面制备刻蚀掩膜层，并通过刻蚀在基底上制得倒锥形阵列；对倒锤形阵列进行纳米压印，以此制得锥形掩膜，然后进行一次倒模，获得倒锥形阵列结构；构建耐磨层，获得倒锥形模板，利用疏水聚合物对倒锥形模板进行二次倒模，制得锥形阵列结构；对锥形阵列结构的表面进行研磨，以得到锥台阵列结构。本发明采用一次倒模、构建耐磨层的方式制备大面积倒锥形模板，后续利用疏水聚合物进行二次倒模得到大面积的超疏水表面，无需任何低表面能物质修饰，最后通过研磨进行微纳结构的加工，能够进一步提高表面的粗糙度和结构稳定性。
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公开(公告)号：CN112186092B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202010946073.5
申请日：2020-09-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳结构的制造领域，公开了一种基于超亲水结构的热电堆发电器件及其制备方法，该发电器件包括绝缘基底及位于该绝缘基底上的若干发电单元，每个发电单元包括第一悬浮热电偶电极、第二悬浮热电偶电极和超亲水层，这两个悬浮热电偶电极的一端分别位于第一热电偶电极冷端基座和第二热电偶电极冷端基座上，与冷端相连；另一端分别位于第一热电偶电极热端基座和第二热电偶电极热端基座上，与热端相连；所述热端为悬浮超亲水层，该悬浮超亲水层具有微纳结构。本发明通过利用超亲水结构作为热端配合热电偶电极形成热电堆发电器件，所形成的热电堆发电器件发电效率较高，结构稳定，且制备方法能够实现大规模热电堆阵列发电器件的制备。
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公开(公告)号：CN112229905A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202010933600.9
申请日：2020-09-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N29/036 , C23C14/30 , C23C14/10 , C23C14/02 , C23C14/58 , C23C14/35 , C23C14/16 , C23C14/06 , C23C28/00 , C23C16/56
Abstract: 本发明属于微纳制造相关技术领域，其公开了一种高选择性体声波谐振氢气传感器及其制备方法，所述氢气传感器包括氢气敏感层、氢气选择层及体声波谐振器，所述氢气敏感层设置在所述体声波谐振器上，所述氢气选择层设置在所述体声波谐振器上，且其与所述体声波谐振器之间形成收容空间，所述氢气敏感层收容在所述收容空间内；其中，所述氢气选择层为一层或者多层只允许氢气分子通过的薄膜。本发明实现了对氢气的选择性吸附，提高了检测的准确性，且所述氢气传感器的结构简单，对氢气检测选择性强，灵敏度高，响应快，且能与集成电路工艺兼容，可实现微型化，产品化，可以应用于复杂气氛环境中氢气的高灵敏检测。
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公开(公告)号：CN112186092A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010946073.5
申请日：2020-09-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳结构的制造领域，公开了一种基于超亲水结构的热电堆发电器件及其制备方法，该发电器件包括绝缘基底及位于该绝缘基底上的若干发电单元，每个发电单元包括第一悬浮热电偶电极、第二悬浮热电偶电极和超亲水层，这两个悬浮热电偶电极的一端分别位于第一热电偶电极冷端基座和第二热电偶电极冷端基座上，与冷端相连；另一端分别位于第一热电偶电极热端基座和第二热电偶电极热端基座上，与热端相连；所述热端为悬浮超亲水层，该悬浮超亲水层具有微纳结构。本发明通过利用超亲水结构作为热端配合热电偶电极形成热电堆发电器件，所形成的热电堆发电器件发电效率较高，结构稳定，且制备方法能够实现大规模热电堆阵列发电器件的制备。
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公开(公告)号：CN109402580B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201811208448.7
申请日：2018-10-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微纳制造技术领域，并公开了一种超致密Cu(OH)2纳米线的制备方法及产品。该方法包括，S1、ZnO种子层制备：在基底上沉积一层ZnO薄膜；S2、ZnO催化纳米棒的制备：在所述沉积有ZnO的基底置于Zn(NO3)2·6(H2O)和C6H12N4混合生长液中；S3、Cu种子层制备：在所述ZnO催化纳米棒表面沉积一层Cu种子层；S4、生长纳米线：将沉积有Cu种子层的基底置于NaOH和(NH4)2S2O8的混合溶液中，以生长超致密Cu(OH)2纳米线。本发明还公开以一种超致密Cu(OH)2纳米线。本发明制备形成的Cu(OH)2纳米线的形貌具有质量更高、更加致密、比表面积大的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110376253A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910681492.8
申请日：2019-07-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明属于开关触发器领域，并公开了一种湿度传感器、制备方法及湿敏型开关触发器。湿度传感器包括基体和功能层，基体优选为石英晶体微天平，所述功能层为GO/Cu(OH)2复合层，该GO/Cu(OH)2复合层中包括Cu(OH)2纳米线和粘附在该Cu(OH)2纳米线之间的GO，GO用于提高Cu(OH)2纳米线的亲水性。本发明还公开了湿度传感器的制备方法和一种非接触式湿敏型开关触发器，湿度传感器用于吸收待测对象的水分，使得其自身的谐振频率发生变化；差频电路与振荡电路连接，用于判断是否有待测对象靠近。通过本发明，开关触发器具备灵敏度高、耐用性强、制造工艺简单、成本低等特点。
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公开(公告)号：CN108104078A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711365351.2
申请日：2017-12-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于平面流体流道设计领域，并公开了一种基于楔形分形的树形自发定向运输收集流道结构，其具有多级楔形枝干，第i级楔形枝干的纵截面的下底等效长度为Di、梯度角为、整体高度为Li及上底长度为Di′，并且其上底长度小于下底等效长度，梯度角为与上底相连的两斜边的夹角；第j级楔形枝干的下底附在第j‑1级楔形枝干的斜边上，第j级楔形枝干的下底等效长度与第j‑1级楔形枝干的上底长度的关系如下：Dj≤Dj′‑1,第j级楔形枝干与第j‑1级楔形枝干中心线夹角为。本发明利用楔形基本单元具有梯度结构，使流体在流道上产生拉普拉斯压力差，自发驱动流体在流道上定向运输，并且沿着连续性的分形结构运输收集，可提高流体的定向运输收集效率和实现大面积制作。
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公开(公告)号：CN107389987A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710618121.6
申请日：2017-07-26
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01R1/0416 , G01R31/00
Abstract: 本发明属于微互连可靠性测试领域，并公开了一种简易电迁移测试系统。该系统包括芯片夹持装置、反应腔、电化学工作站和信号采集站，芯片夹持装置用于固定待测试芯片，且设置在反应腔内，反应腔用于为待测试芯片提供高温和无氧环境；电化学工作站与信号引出线连接，用于为待测试芯片提供电流，同时测试该待测试芯片的电压；信号采集站用于设置电化学工作站的参数，并实时采集电化学工作站测试的电压并对该电压进行处理。通过本发明，实现在实验室有效地测试电迁移过程，制作简单，成本低廉，体积小，节省测试时间，对于研究微互连结构的电迁移研究具有重要意义，有效推动芯片可靠性的研究。
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公开(公告)号：CN110422818B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201910680395.7
申请日：2019-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，并具体公开了一种基于超亲水层的复合微纳结构传感器的制备方法及产品。所述方法包括：采用溶液法在传感基底的上表面生长制备超亲水微纳米结构并以此作为超亲水层；将配置好的敏感材料分散液采用定量滴涂的方式滴涂到制备于传感基底上表面的所述超亲水层上，从而敏感材料分散液对所述超亲水层在咖啡环区域以内的超亲水微纳米结构形成均匀包覆；将包覆有敏感材料的超亲水纳米层进行浸泡和烘干。所述产品为采用该制备方法制备得到的传感器。本发明所制备的传感器具有敏感材料层包覆均匀、结构稳定、灵敏度高以及机械结构性能强的特点，因而尤其适用于石英晶体微天平的应用场合。
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公开(公告)号：CN112051307A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010851263.9
申请日：2020-08-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，器件结构包括在石英晶振片，包覆于晶振片表面的上下电极，在石英晶振片表面的上电极表面定点形成的敏感层阵列。制备方法主要包括：在晶振片表面光刻电极图案；对电极图案之外的光刻胶及光刻胶表面的电极材料进行剥离；于电极表面光刻敏感层图案；于上述敏感层图案表面沉积敏感层材料；对敏感层图案之外的光刻胶及光刻胶表面的敏感材料进行剥离；重复上述操作，对已有敏感层图案的电极表面进行套刻直到制备完成敏感阵列。本发明所设计的一种基于石英晶体微天平的多传感器阵列及其制备方法，可以同时检测多种目标传感对象，提升检测范围，提高检测效率，得到更准确的测试结果。
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