发明公开
- 专利标题： 一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉
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申请号： CN201710488874.X申请日： 2017-06-23
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公开(公告)号： CN109112624A公开(公告)日： 2019-01-01
- 发明人: 余刚 , 丁一 , 王剑 , 姚玖洪
- 申请人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路
- 专利权人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人： 镇江仁德新能源科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路
- 代理机构： 常州佰业腾飞专利代理事务所
- 代理商 李帅
- 主分类号： C30B28/14
- IPC分类号： C30B28/14 ; C30B29/06
摘要：
本发明提供一种用于生产太阳能级高效多晶硅片的多晶炉，包括炉体内筒、炉体外筒，和设置于所述炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的螺旋状导流板；所述炉体外筒底部设置有第一冷却水进口，能够将冷却水导入炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中，并沿螺旋状导流板螺旋上升流动；所述炉体外筒顶部设置有第一冷却水出口，能够将炉体内筒和炉体外筒之间的夹层空腔中的冷却水导出。既能维持炉内温度，又保证炉体的加压水导流冷却，和双层玻璃视镜的局部水冷。
IPC分类:
