Invention Publication
- Patent Title: 半导体元件搭载用封装体基板的制造方法和半导体元件安装基板的制造方法
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Application No.: CN201780040347.0Application Date: 2017-06-23
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Publication No.: CN109417055APublication Date: 2019-03-01
- Inventor: 平野俊介 , 加藤祯启 , 小柏尊明 , 川下和晃 , 中岛洋一
- Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 三菱瓦斯化学株式会社
- Current Assignee: 三菱瓦斯化学株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 李茂家
- Priority: 2016-131702 2016.07.01 JP
- International Application: PCT/JP2017/023237 2017.06.23
- International Announcement: WO2018/003703 JA 2018.01.04
- Date entered country: 2018-12-27
- Main IPC: H01L23/12
- IPC: H01L23/12 ; H05K3/46

Abstract:
一种半导体元件搭载用封装体基板的制造方法,其包括如下工序:基板形成工序(a),形成依次含有第1绝缘树脂层、至少包含硅化合物的脱模层和厚度为1μm~5μm的极薄铜箔的电路形成用支撑基板;第1布线导体形成工序(b),在电路形成用支撑基板的极薄铜箔上通过图形电镀铜形成第1布线导体;层叠工序(c),以与第1布线导体接触的方式配置第2绝缘树脂层,将第2绝缘树脂层进行加热加压并层叠;第2布线导体形成工序(d),在第2绝缘树脂层中形成到达第1布线导体的非贯通孔,使非贯通孔的内壁通过电镀铜和/或化学镀铜连接,形成第2布线导体;剥离工序(e),从形成有第1布线导体和第2布线导体的电路形成用支撑基板剥离第1绝缘树脂层;和去除工序(f),将脱模层和/或前述极薄铜箔去除。
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