半导体元件搭载用封装体基板的制造方法和半导体元件安装基板的制造方法
Abstract:
一种半导体元件搭载用封装体基板的制造方法,其包括如下工序:基板形成工序(a),形成依次含有第1绝缘树脂层、至少包含硅化合物的脱模层和厚度为1μm~5μm的极薄铜箔的电路形成用支撑基板;第1布线导体形成工序(b),在电路形成用支撑基板的极薄铜箔上通过图形电镀铜形成第1布线导体;层叠工序(c),以与第1布线导体接触的方式配置第2绝缘树脂层,将第2绝缘树脂层进行加热加压并层叠;第2布线导体形成工序(d),在第2绝缘树脂层中形成到达第1布线导体的非贯通孔,使非贯通孔的内壁通过电镀铜和/或化学镀铜连接,形成第2布线导体;剥离工序(e),从形成有第1布线导体和第2布线导体的电路形成用支撑基板剥离第1绝缘树脂层;和去除工序(f),将脱模层和/或前述极薄铜箔去除。
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