本发明公开了一种用于流化反应的硅粉及其制备方法、氮化硅及其生产方法，本发明中的硅粉的内部具有孔洞，大大提高了硅粉的比表面积和孔隙率，硅粉与氮气进行流化反应时，氮气进入到硅粉的内部的孔洞形成的通道中充分接触与硅粉接触，不仅仅大大提高了气、固相界面积，而且提高了氮气在硅粉的内部的孔洞形成的通道中的流通速度，从而提高了流化反应的速度，使得不仅仅在硅粉的表面会生成氮化硅，而且在硅粉的内部也会生成氮化硅，且大大提高了硅粉的转化率。使用内部具有孔洞的硅粉进行流化反应，可以使用大颗粒的硅粉形成流化态，且不会阻止硅粉与氮气的进一步反应，且大大减少了氮化反应的阻力。