Invention Publication
- Patent Title: 埋入式字符线结构的制作方法和结构
- Patent Title (English): Manufacturing method of embedded type character line structure and structure
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Application No.: CN201710770218.9Application Date: 2017-08-31
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Publication No.: CN109427652APublication Date: 2019-03-05
- Inventor: 林哲平 , 林冠君 , 许启茂 , 詹书俨 , 邹世芳 , 吕佐文 , 詹电针 , 张峰溢 , 颜士贵 , 李甫哲
- Applicant: 联华电子股份有限公司 , 福建省晋华集成电路有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹市
- Assignee: 联华电子股份有限公司,福建省晋华集成电路有限公司
- Current Assignee: 联华电子股份有限公司,福建省晋华集成电路有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹市
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 陈小雯
- Main IPC: H01L21/768
- IPC: H01L21/768 ; H01L23/528 ; H01L27/108

Abstract:
本发明公开一种埋入式字符线结构的制作方法和结构,其制作方法包含:首先,提供一基底,一字符线沟槽位于基底中,二源极/漏极掺杂区位于字符线沟槽两侧的基底中,然后形成一氧化硅层覆盖字符线沟槽,之后形成一氮化钛层覆盖氧化硅层,接着进行一斜角掺质注入制作工艺,将硅原子注入氮化钛层中使得部分的氮化钛层转变为一氮硅化钛层,接续形成一导电层于字符线沟槽中,再移除部分的导电层、部分的氮硅化钛层、部分氧化硅以形成一凹槽,最后形成一帽盖层填入凹槽。
Public/Granted literature
- CN109427652B 埋入式字符线结构的制作方法和结构 Public/Granted day:2020-08-18
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