Invention Publication
CN109632898A 电化学测定用室
失效 - 权利终止
- Patent Title: 电化学测定用室
- Patent Title (English): CELL FOR ELECTROCHEMICAL MEASUREMENT
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Application No.: CN201811127672.3Application Date: 2018-09-27
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Publication No.: CN109632898APublication Date: 2019-04-16
- Inventor: 长岛真也 , 五十井俊广 , 加藤久雄
- Applicant: 丰田自动车株式会社
- Applicant Address: 日本爱知县
- Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee Address: 日本爱知县
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 陈冠钦
- Priority: 2017-195024 20171005 JP
- Main IPC: G01N27/26
- IPC: G01N27/26 ; G01N27/30

Abstract:
本发明涉及电化学测定用室。电化学测定用室是用于利用透过了观察窗的电子束进行测定的电化学测定用室,其特征在于,将观察用MEMS芯片与密封用MEMS芯片间隔地配置,该观察用MEMS芯片具有包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,在薄膜上设置了工作电极和对电极,该密封用MEMS芯片是包含电子透过性的薄膜和基板的层叠体,在两者层叠体中的一部分区域中不存在基板,在上述区域中形成包含薄膜的观察窗,工作电极与两者层叠体中的观察窗重叠,并且在观察窗上沿着电子束透过的方向具有多个贯通孔。
Public/Granted literature
- CN109632898B 电化学测定用室 Public/Granted day:2021-01-12
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