发明公开
- 专利标题: 干涉确定光学表面的形状的测量装置
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申请号: CN201780054763.6申请日: 2017-07-19
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公开(公告)号: CN109716056A公开(公告)日: 2019-05-03
- 发明人: J.赫茨勒
- 申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 申请人地址: 德国上科亨
- 专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国上科亨
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 王蕊瑞
- 优先权: 102016213237.7 2016.07.20 DE
- 国际申请: PCT/EP2017/000875 2017.07.19
- 国际公布: WO2018/015014 DE 2018.01.25
- 进入国家日期: 2019-03-06
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02
摘要:
干涉确定测试件(14)的光学表面(12)的形状的测量装置(10)包括:产生照明波(34)的照明模块(16),干涉仪(18),该干涉仪(18)配置为将照明波分裂成参考波(52)和被指引到光学表面上的测试波(50),两束波关于彼此倾斜使得当将它们叠加在干涉仪的检测平面(62)中时产生多个条纹干涉图案(66)。照明模块具有在检测平面的傅里叶平面中布置的光瞳平面(28),并且照明模块配置为产生照明波使得光瞳平面中的照明波的强度分布包括一个或多个空间上隔离、连续的表面区域(38),该表面区域(38)配置为使得具有与表面区域或表面区域的总体配合的最小可能面积的矩形(74)具有至少1.5∶1的纵横比。
公开/授权文献
- CN109716056B 干涉确定光学表面的形状的测量装置 公开/授权日:2021-05-25