Invention Publication
- Patent Title: 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置
- Patent Title (English): Method and device for rapidly measuring cross movement platform two-dimensional location errors
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Application No.: CN201711165921.3Application Date: 2017-11-20
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Publication No.: CN109813214APublication Date: 2019-05-28
- Inventor: 颜传祥 , 周志伟 , 马国东 , 尹建刚 , 谢文胜 , 胡雄雄 , 朱洪涛 , 洪熔 , 朱晓枫 , 黄政 , 吴林龙 , 陈才伟 , 高云峰
- Applicant: 大族激光科技产业集团股份有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号
- Assignee: 大族激光科技产业集团股份有限公司
- Current Assignee: 广东大族半导体装备科技有限公司
- Current Assignee Address: 510000 广东省广州市南沙区南江三路8、10号(自编三、四、五栋)301房号
- Agency: 深圳市世联合知识产权代理有限公司
- Agent 汪琳琳
- Main IPC: G01B11/00
- IPC: G01B11/00

Abstract:
本发明公开了一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置。所述测量方法先将十字运动平台固定在底座上,将玻璃板固定在十字运动平台上,并调节玻璃板的角度,使玻璃板上的网格与十字运动平台的运动方向一致;将相机和镜头也设置在底座上,镜头上设置有光源,并调节光源的亮度,记录十字运动平台基准位置时,距离相机中心点最近的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的初始偏移量;移动十字运动平台,并遍历需要测量的所有位置,记录下每个位置对应的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的偏移量;将得到所有位置的偏移量分别减去初始偏移量,就得到每个位置的二维定位误差。本发明方便快捷,操作简单,成本低廉。
Public/Granted literature
- CN109813214B 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置 Public/Granted day:2021-09-03
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