- 专利标题: 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置
- 专利标题(英): Method and device for rapidly measuring cross movement platform two-dimensional location errors
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申请号: CN201711165921.3申请日: 2017-11-20
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公开(公告)号: CN109813214A公开(公告)日: 2019-05-28
- 发明人: 颜传祥 , 周志伟 , 马国东 , 尹建刚 , 谢文胜 , 胡雄雄 , 朱洪涛 , 洪熔 , 朱晓枫 , 黄政 , 吴林龙 , 陈才伟 , 高云峰
- 申请人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号
- 专利权人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳市大族半导体装备科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区高新科技园北区新西路9号
- 代理机构: 深圳市世联合知识产权代理有限公司
- 代理商 汪琳琳
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00
摘要:
本发明公开了一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置。所述测量方法先将十字运动平台固定在底座上,将玻璃板固定在十字运动平台上,并调节玻璃板的角度,使玻璃板上的网格与十字运动平台的运动方向一致;将相机和镜头也设置在底座上,镜头上设置有光源,并调节光源的亮度,记录十字运动平台基准位置时,距离相机中心点最近的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的初始偏移量;移动十字运动平台,并遍历需要测量的所有位置,记录下每个位置对应的网格交点与相机中心点在X方向和Y方向上的偏移量;将得到所有位置的偏移量分别减去初始偏移量,就得到每个位置的二维定位误差。本发明方便快捷,操作简单,成本低廉。
公开/授权文献
- CN109813214B 一种快速测量十字运动平台二维定位误差的方法及装置 公开/授权日:2021-09-03