一种十字型运动平台及激光加工设备

    公开(公告)号:CN112122791A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202010838429.3

    申请日:2020-08-19

    摘要: 本发明涉及一种十字型运动平台及激光加工设备,包括载板、X轴移动机构以及Y轴移动机构,X轴移动机构包括X轴底座、X轴导轨、X轴滑块、X轴防护罩、以及X轴分油块,X轴分油块上设有露出于X轴防护罩的X轴注油嘴,X轴滑块通过油管与X轴注油嘴连通;Y轴移动机构包括Y轴底座、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴防护罩、以及Y轴分油块,Y轴分油块上设有露出于X轴防护罩的Y轴注油嘴,Y轴滑块通过油管与Y轴注油嘴连通。本发明可无需拆卸防护罩,通过将注油枪对准注油嘴,即可将润滑油通过连通的油管注入到滑块内部,完成滑块的润滑油供给,从而实现对导轨滑块的润滑,以延长设备的使用寿命,并节省了设备的维护时间,便于保养。

    一种龙门平台
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111716110A

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN202010560030.3

    申请日:2020-06-18

    IPC分类号: B23Q1/01 B23Q23/00

    摘要: 本发明涉及加工设备领域,具体涉及一种龙门平台,其包括:底座、横梁轴、第一驱动机构、第二驱动机构和位移补偿机构,两驱动机构上分别设有第一承载板和第二承载板,两驱动机构分别设于底座两侧;横梁轴两端分别与两承载板连接;两驱动机构用于驱动横梁轴往复运动;位移补偿机构设于第一承载板和横梁轴之间,以使横梁轴能够在横梁轴长度方向上移动。通过在横梁轴与第一驱动机构之间设置的位移补偿机构,使横梁轴在热伸长或冷缩短时可在其长度方向进行移动,以补偿横梁轴变长或变短增加或减小的长度,消除了横梁轴热胀或冷缩时堆积的内应力,有效的解决了与横梁轴连接的驱动机构平行度变差的问题,保证了龙门平台的加工精度。

    一种循环工作设备
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111661585A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN202010513944.4

    申请日:2020-06-08

    IPC分类号: B65G37/02

    摘要: 本发明公开了一种循环工作设备,包括底座;设置在所述底座上的轨道,所述轨道包括依次循环排列的上料轨道、工作轨道、下料轨道和回流轨道;多个承载组件,设置在所述工作轨道和所述回流轨道上,用于运送工件;至少两个接驳组件,设置在所述上料轨道和所述下料轨道上,用于将所述承载组件在所述回流轨道和所述工作轨道中运送;其中,在所述底座、所述承载组件和所述接驳组件上设置有直线电机,所述直线电机用于驱动所述承载组件和所述接驳组件沿所述轨道运动,所述承载组件在所述工作轨道和所述回流轨道中的运动方向相反,所述接驳组件分别在所述上料轨道和所述下料轨道中做往返运动,可以缩短生产节拍、提高加工效率。

    激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质

    公开(公告)号:CN111112833A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201811275510.4

    申请日:2018-10-30

    IPC分类号: B23K26/082 B23K26/70

    摘要: 本申请属于激光加工技术领域,涉及激光加工方法、激光加工装置、激光加工设备及存储介质。该激光加工方法包括:所述振镜扫描系统的A轴和B轴与所述十字运动平台的X轴和Y轴联动,以实现规划的加工轨迹;当所述十字运动平台驱动工件运动时,获取所述振镜扫描系统的A轴和B轴的反馈信号以及所述十字运动平台的X轴和Y轴的反馈信号;将所述A轴和所述B轴的反馈信号的脉冲数量与所述X轴和所述Y轴的反馈信号的脉冲数量进行换算;当所述工件在所述X轴上的移动距离产生差值▽x时,所述A轴补偿移动▽x;当所述工件在所述Y轴上的移动距离产生差值▽y时,所述B轴补偿移动▽y。其有利于十字运动平台的工件处于所述振镜扫描系统加工范围中心的最优加工区域。

    一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法

    公开(公告)号:CN114695226A

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202011645384.4

    申请日:2020-12-31

    摘要: 本发明涉及晶圆激光标记技术领域,公开一种全自动晶圆背面激光标记装置及方法。该装置包括:机械系统,包括机架、设置在所述机架上的夹具组件,用于固定和校平待标记晶圆;上下料系统,用于放置待标记晶圆和已标记晶圆;机械手系统,用于取放和移送待标记晶圆、及已标记晶圆;晶圆自动寻边系统,用于对机械手系统移送的待标记晶圆进行自动寻边校准;视觉系统,用于检测寻边校准后的待标记晶圆得到试打标的定位数据,并对实际打标位置进行测量确定其是否超差。双激光系统,用于根据所述定位数据进行试打标,在实际打标位置不超差时,完成对待打标晶圆进行标记。本发明提高了晶圆激光标记的效率,可以适应变形较大的晶圆,提高晶圆激光标记的精度。

    一种拼接式直线电机模组

    公开(公告)号:CN111786532B

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202010489846.1

    申请日:2020-06-02

    IPC分类号: H02K41/02 H02K5/00

    摘要: 本发明属于直线模组技术领域,涉及一种拼接式直线电机模组,该拼接式直线电机模组包括模组本体、一个基准立柱和至少三个调整立柱组件;模组本体包括载物件和至少两个相互拼接的导轨组件,载物件滑动设置于导轨组件上;其中一导轨组件由基准立柱和至少一个调整立柱组件共同支撑,其余的导轨组件均由至少两个调整立柱组件共同支撑,所有的导轨组件沿模组本体的延伸方向依次首尾拼接;各调整立柱组件的顶端抵顶设置于对应导轨组件的底端,并能够伸缩以带动导轨组件以基准立柱的高度为基准竖向移动。该拼接式直线电机模组提供的技术方案能得到一种具有超大行程兼具高精度的直线电机模组。

    一种激光切割设备
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111843232A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010676006.6

    申请日:2020-07-14

    摘要: 本发明涉及一种激光切割设备,其包括承载机构、X轴驱动机构、Y轴驱动机构和激光切割组件。X轴驱动机构装设在承载机构两端,其包括X轴直线电机动子、X轴直线电机定子、X轴直线导轨和连接板;Y轴驱动机构承载在X轴驱动机构上,其包括纵梁组件、Y轴直线电机动子、Y轴直线电机定子、Y轴直线导轨和挡油组件;激光切割组件设置在Y轴驱动机构上,Y轴直线电机动子与激光切割组件连接。其中激光切割组件包括负载板,负载板上设有密封凹槽,密封凹槽与挡油组件配合形成半封闭结构,可从不同方向上防止Y轴直线导轨上的润滑油溅落至放置于承载机构上的工件表面,从而为工件的加工提供更为整洁的加工环境,提高加工精度。

    一种拼接式直线电机模组

    公开(公告)号:CN111786532A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN202010489846.1

    申请日:2020-06-02

    IPC分类号: H02K41/02 H02K5/00

    摘要: 本发明属于直线模组技术领域,涉及一种拼接式直线电机模组,该拼接式直线电机模组包括模组本体、一个基准立柱和至少三个调整立柱组件;模组本体包括载物件和至少两个相互拼接的导轨组件,载物件滑动设置于导轨组件上;其中一导轨组件由基准立柱和至少一个调整立柱组件共同支撑,其余的导轨组件均由至少两个调整立柱组件共同支撑,所有的导轨组件沿模组本体的延伸方向依次首尾拼接;各调整立柱组件的顶端抵顶设置于对应导轨组件的底端,并能够伸缩以带动导轨组件以基准立柱的高度为基准竖向移动。该拼接式直线电机模组提供的技术方案能得到一种具有超大行程兼具高精度的直线电机模组。