发明授权
CN109932049B 同侧耦合式微腔芯片型激光自混合传感系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 同侧耦合式微腔芯片型激光自混合传感系统
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申请号: CN201910232513.8申请日: 2016-04-20
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公开(公告)号: CN109932049B公开(公告)日: 2021-06-08
- 发明人: 吕亮 , 向荣 , 周俊峰 , 王德辉 , 俞本立 , 桂华侨 , 刘建国 , 王焕钦 , 赵云坤 , 涂郭结 , 朱军
- 申请人: 安徽大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路111号(安徽大学新区)
- 专利权人: 安徽大学
- 当前专利权人: 安徽大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路111号(安徽大学新区)
- 代理机构: 无锡市汇诚永信专利代理事务所
- 代理商 王闯; 葛莉华
- 主分类号: G01H9/00
- IPC分类号: G01H9/00 ; G01B11/02 ; G01B9/00 ; G01P3/36 ; H01S3/08
摘要:
本分案申请涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本分案申请提供一种同侧耦合式微腔芯片型激光自混合传感系统,该系统基于激光自混合干涉测量原理,利用光学微腔构建激光自混合传感系统,实现了高精度,高灵敏度的传感测量,同时因系统具有微型化的优点,更加适合于大规模芯片制造加工,更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量,并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合,低成本,高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
公开/授权文献
- CN109932049A 微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统 公开/授权日:2019-06-25