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公开(公告)号：CN109932050B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201910233041.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种异侧耦合式微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN108709717B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201810680876.3
申请日：2018-06-27
Applicant: 安徽大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种利用大振幅激光自混合振动信号测量多纵模激光器谐振腔FSR的装置及方法，装置包括多纵模激光器、振动目标、传动机构、电机、信号发生器、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元，多纵模激光器出射激光到振动目标上，通过信号发生器、电机、传动机构使振动目标进行直线往复运动，振动目标在直线往复运动的同时接收多纵模激光器出射的激光并将激光反馈回多纵模激光器谐振腔内，形成激光自混合振动信号，分束器将自混合信号分束到光电探测器上，光电探测器输出端依次连接信号预处理单元和信号处理单元；本发明能够实现非接触实时高精度测量，测量装置结构简单，测量响应速度快且测量精度较高。
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公开(公告)号：CN109932050A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910233041.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN108709717A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810680876.3
申请日：2018-06-27
Applicant: 安徽大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种利用大振幅激光自混合振动信号测量多纵模激光器谐振腔FSR的装置及方法，装置包括多纵模激光器、振动目标、传动机构、电机、信号发生器、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元，多纵模激光器出射激光到振动目标上，通过信号发生器、电机、传动机构使振动目标进行直线往复运动，振动目标在直线往复运动的同时接收多纵模激光器出射的激光并将激光反馈回多纵模激光器谐振腔内，形成激光自混合振动信号，分束器将自混合信号分束到光电探测器上，光电探测器输出端依次连接信号预处理单元和信号处理单元；本发明能够实现非接触实时高精度测量，测量装置结构简单，测量响应速度快且测量精度较高。
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公开(公告)号：CN109932049A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910232513.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109818245A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910249844.2
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN105716704B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201610255764.4
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本发明涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动、位移、速度传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本发明提供一种微腔芯片型激光自混合振动、位移、速度传感方法及系统，该方法基于激光自混合干涉测量原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN109782298A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910250708.5
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
IPC: G01S17/48
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN109818245B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201910249844.2
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感系统，该系统基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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公开(公告)号：CN105790070B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201610255736.2
申请日：2016-04-20
Applicant: 安徽大学
IPC: H01S5/10
Abstract: 本发明涉及激光自混合传感技术领域，现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化，无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成，无法大规模集成开发和应用。针对上述问题，本发明提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感方法及系统，该方法基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理，利用光学微腔构建激光自混合传感系统，实现了高精度，高灵敏度的传感测量，同时因系统具有微型化的优点，更加适合于大规模芯片制造加工，更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量，并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合，低成本，高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。
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