制造太阳能电池的方法
摘要:
制造太阳能电池的方法。根据本发明的实施方式的制造太阳能电池的方法包括以下步骤:在半导体基板上形成氧化硅膜;以及将氧化硅膜连续地暴露于570℃至700℃的范围内的温度,以对氧化硅膜进行退火。
公开/授权文献
0/0