发明公开
- 专利标题: 用于三维存储器器件中直接源极接触的灯泡形存储器堆叠结构
- 专利标题(英): BULB-SHAPED MEMORY STACK STRUCTURES FOR DIRECT SOURCE CONTACT IN THREE-DIMENSIONAL MEMORY DEVICE
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申请号: CN201780062369.7申请日: 2017-09-07
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公开(公告)号: CN110088905A公开(公告)日: 2019-08-02
- 发明人: J.余 , K.北村 , 张彤 , C.葛 , 张艳丽 , S.清水 , Y.笠木 , 小川裕之 , D.毛 , K.山口 , J.阿尔斯梅尔 , J.凯 , K.松本 , Y.正森
- 申请人: 桑迪士克科技有限责任公司
- 申请人地址: 美国得克萨斯州
- 专利权人: 桑迪士克科技有限责任公司
- 当前专利权人: 桑迪士克科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国得克萨斯州
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 李莹; 邱军
- 优先权: 62/416,859 2016.11.03 US
- 国际申请: PCT/US2017/050367 2017.09.07
- 国际公布: WO2018/084928 EN 2018.05.11
- 进入国家日期: 2019-04-09
- 主分类号: H01L27/11582
- IPC分类号: H01L27/11582 ; H01L27/11573
摘要:
掩埋源极层的源极带结构和存储器结构内的半导体沟道之间的接触面积可以通过横向扩展其中形成存储器堆叠结构的源极级体积进行增加。在一个实施方案中,可以在形成绝缘层和牺牲材料层的垂直交替堆叠体之前在源极级存储器开口中形成牺牲半导体基座。存储器开口可以包括通过移除牺牲半导体基座形成的凸出部分。存储器堆叠结构可以形成为在凸出部分中具有较大的侧壁表面积,以提供与源极带结构较大的接触面积。或者,在形成存储器开口期间或之后,可以相对于上部部分选择性地扩展存储器开口的底部部分,以提供凸出部分并增加与源极带结构的接触面积。
公开/授权文献
- CN110088905B 用于三维存储器器件中直接源极接触的灯泡形存储器堆叠结构 公开/授权日:2023-08-29
IPC分类: