Invention Grant
- Patent Title: 电子源和使用它的电子束装置
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Application No.: CN201780085216.4Application Date: 2017-12-08
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Publication No.: CN110235217BPublication Date: 2021-05-11
- Inventor: 楠敏明 , 糟谷圭吾 , 大嶋卓 , 桥诘富博 , 荒井纪明 , 小瀬洋一
- Applicant: 株式会社日立高新技术
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社日立高新技术
- Current Assignee: 株式会社日立高新技术
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- Agent 龙淳
- Priority: 2017-035882 20170228 JP
- International Application: PCT/JP2017/044177 2017.12.08
- International Announcement: WO2018/159056 JA 2018.09.07
- Date entered country: 2019-07-31
- Main IPC: H01J1/15
- IPC: H01J1/15 ; H01J1/16 ; H01J9/04 ; H01J37/06
Abstract:
本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下，也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括：金属制的灯丝(103)；金属管(112)，其被固定在灯丝(103)上，在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(117)；和柱状的六硼化物的针头(104)，其发射电子，从金属管(112)的内部向灯丝(103)的相反一侧突出地配置，且与金属管(112)的多个凹部(117)各自的底部接触。
Public/Granted literature
- CN110235217A 电子源和使用它的电子束装置 Public/Granted day:2019-09-13
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