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公开(公告)号：CN110235217B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201780085216.4
申请日：2017-12-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下，也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括：金属制的灯丝(103)；金属管(112)，其被固定在灯丝(103)上，在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(117)；和柱状的六硼化物的针头(104)，其发射电子，从金属管(112)的内部向灯丝(103)的相反一侧突出地配置，且与金属管(112)的多个凹部(117)各自的底部接触。
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公开(公告)号：CN112673449A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201880097383.5
申请日：2018-09-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/06
Abstract: 本发明使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。
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公开(公告)号：CN108701571A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082576.4
申请日：2016-11-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/304 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J9/02
Abstract: 本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源，因此，本场致发射电子源具包括：金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109)，六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触，且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。
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公开(公告)号：CN112673449B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201880097383.5
申请日：2018-09-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/06
Abstract: 本发明使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。
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公开(公告)号：CN113646864B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980094952.5
申请日：2019-04-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/06 , H01J37/073
Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108701571B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201680082576.4
申请日：2016-11-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/304 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J9/02
Abstract: 本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源，因此，本场致发射电子源具包括：金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109)，六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触，且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。
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公开(公告)号：CN115428114A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202080099514.0
申请日：2020-04-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供能够抑制引出电极中的不均匀的温度分布的电子枪(901)以及测长SEM(900)。电子枪(901)具备：带电粒子源(1)；引出电极(3)，其从带电粒子源(1)引出带电粒子，并且使带电粒子的一部分通过，遮蔽带电粒子的另一部分；以及辅助结构(5)，其与引出电极(3)接触。测长SEM(900)具备上述的电子枪(901)和控制电子枪(901)的计算机系统(920)。
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公开(公告)号：CN109804450A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201680089774.3
申请日：2016-10-13
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J1/30 , H01J9/02
Abstract: 即使在对CFE电子源使用CeB6并进行低加速观察的情况下，也能够提供一种稳定地获得高空间分辨率的电子束装置。在具备CFE电子源(929)的电子束装置中，CFE电子源的电子束(931)的发射部是Ce的六硼化物或者比Ce重的镧系元素金属的六硼化物，六硼化物从{310}面发射电子束，{310}面的镧系元素金属的原子数比由{310}面的六个硼构成的硼分子数多。
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公开(公告)号：CN115668429A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202080101288.5
申请日：2020-06-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/063
Abstract: 一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置，后退部的至少一部分具备配置为距开口部的中心为直径2810μm以内等的构造。由此，实现降低了因电子发射材料与抑制电极的轴偏离引起的装置性能的机械差异的电子源、电子枪、以及使用了该电子枪的电子显微镜等带电粒子束装置。
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公开(公告)号：CN113646864A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN201980094952.5
申请日：2019-04-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/06 , H01J37/073
Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。
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