公开(公告)号：CN108701571B

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201680082576.4

申请日：2016-11-24

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 楠敏明 ,  桥诘富博 ,  糟谷圭吾 ,  大嶋卓 ,  酒井佑辅 ,  小瀬洋一 ,  荒井纪明

IPC分类号： H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J9/02

摘要： 本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源，因此，本场致发射电子源具包括：金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109)，六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触，且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。

公开(公告)号：CN110235217B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201780085216.4

申请日：2017-12-08

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 楠敏明 ,  糟谷圭吾 ,  大嶋卓 ,  桥诘富博 ,  荒井纪明 ,  小瀬洋一

IPC分类号： H01J1/15 ,  H01J1/16 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06

摘要： 本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下，也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括：金属制的灯丝(103)；金属管(112)，其被固定在灯丝(103)上，在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(117)；和柱状的六硼化物的针头(104)，其发射电子，从金属管(112)的内部向灯丝(103)的相反一侧突出地配置，且与金属管(112)的多个凹部(117)各自的底部接触。

公开(公告)号：CN110235217A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201780085216.4

申请日：2017-12-08

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 楠敏明 ,  糟谷圭吾 ,  大嶋卓 ,  桥诘富博 ,  荒井纪明 ,  小瀬洋一

IPC分类号： H01J1/15 ,  H01J1/16 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06

摘要： 本发明提供一种即使在使用六硼化物的情况下，也能够长时间稳定地使用的电子源和使用它的电子束装置。电子源包括：金属制的灯丝(103)；金属管(112)，其被固定在灯丝(103)上，在外周具有以包围中心轴的方式配置在至少2轴方向上的多个凹部(117)；和柱状的六硼化物的针头(104)，其发射电子，从金属管(112)的内部向灯丝(103)的相反一侧突出地配置，且与金属管(112)的多个凹部(117)各自的底部接触。

公开(公告)号：CN108701571A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680082576.4

申请日：2016-11-24

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 楠敏明 ,  桥诘富博 ,  糟谷圭吾 ,  大嶋卓 ,  酒井佑辅 ,  小瀬洋一 ,  荒井纪明

IPC分类号： H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J9/02

摘要： 本发明提供可稳定地加热闪蒸的六硼化物单结晶场致发射电子源，因此，本场致发射电子源具包括：金属丝(107)、与其接合的金属管(108)、发射电子的六硼化物电极头(104)、独立于金属管和六硼化物电极头的石墨片(109)，六硼化物电极头配置成因石墨片而在结构上不与金属管接触，且具有六硼化物电极头、石墨片和金属管机械接触且电接触的结构。