Invention Publication
- Patent Title: 氧化物绝缘体膜形成用涂布液
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Application No.: CN201910189165.0Application Date: 2019-03-13
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Publication No.: CN110289204APublication Date: 2019-09-27
- Inventor: 曾根雄司 , 植田尚之 , 安藤友一 , 中村有希 , 安部由希子 , 松本真二 , 早乙女辽一 , 新江定宪 , 草柳岭秀
- Applicant: 株式会社理光
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社理光
- Current Assignee: 株式会社理光
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 宋莉
- Priority: 2018-050839 2018.03.19 JP
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02 ; H01L21/316
Abstract:
本发明的氧化物绝缘体膜形成用涂布液含有：含硅化合物、含碱土金属化合物、以及溶剂，所述溶剂包含选自闪点为21℃以上且低于200℃的有机溶剂和水中的至少一种，所述氧化物绝缘体膜形成用涂布液的闪点为37.8℃以上。
Public/Granted literature
- CN110289204B 氧化物绝缘体膜形成用涂布液 Public/Granted day:2023-08-15
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IPC分类:
