石墨烯纳米线薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列
摘要:
本发明公开一种石墨烯纳米线薄膜及其制备方法、以及薄膜晶体管阵列,石墨烯纳米线薄膜的制备方法包括以下步骤:以铝基材为基材,采用阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝模板;采用原子层沉积法在多孔阳极氧化铝模板的孔内壁面沉积得到金属催化层;采用化学气相沉积法,在金属催化层的表面沉积得到石墨烯纳米线,并采用模板去除剂去除多孔阳极氧化铝模板、采用催化层去除剂去除金属催化层,得到石墨烯纳米线;以及对石墨烯纳米线进行漂洗,并将漂洗后的石墨烯纳米线分散至成膜溶液中得到膜液,将膜液涂覆于基板的表面,干燥得到石墨烯纳米线薄膜。本发明的技术方案能够使得石墨烯纳米线薄膜具有好的导电性能。
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