利用喷墨头的药液供应方法
摘要:
本发明提供一种药液供应方法,其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的周边部分的喷墨头,可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上,从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上,从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。可以将喷墨头在基板的上部移动相当于周边部分的长度的量。可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上,从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上,从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。本发明的药液供应方法能够有效防止在所述基板的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象,能够在所述基板上均匀地形成所需的薄膜。
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