发明公开
CN110375642A 一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法
- 专利标题(英): Piezoelectric ceramic control device for interferometer and control method of control device
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申请号: CN201910699012.0申请日: 2019-07-31
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公开(公告)号: CN110375642A公开(公告)日: 2019-10-25
- 发明人: 李豪伟 , 李慧鹏 , 宋凝芳 , 张春熹
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02 ; G01B11/24 ; G05D3/00
摘要:
本发明公开了一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法,XY方向偏转电机的伸缩带动压电陶瓷底座在XY平面以第一固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动,XZ方向偏转电机的伸缩带动XY方向偏转底座在XZ平面以第二固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动,可以实现对干涉仪用压电陶瓷的俯仰偏转姿态和水平偏转姿态两个维度的角度偏转进行精准电动调节,偏转调节的精度高,偏转角度可达±4°,并且,整体结构紧凑,便于集成。由于干涉条纹的姿态调整由参考镜的偏转实现,压电陶瓷与参考镜固定在一起,因此,上述干涉仪用压电陶瓷控制装置可以实现对干涉条纹的幅度和偏转角度的精准电动调节。
公开/授权文献
- CN110375642B 一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法 公开/授权日:2020-12-08