一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法
摘要:
本发明公开了一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法,XY方向偏转电机的伸缩带动压电陶瓷底座在XY平面以第一固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动,XZ方向偏转电机的伸缩带动XY方向偏转底座在XZ平面以第二固定轴为中心作有限幅度的圆周偏转运动,可以实现对干涉仪用压电陶瓷的俯仰偏转姿态和水平偏转姿态两个维度的角度偏转进行精准电动调节,偏转调节的精度高,偏转角度可达±4°,并且,整体结构紧凑,便于集成。由于干涉条纹的姿态调整由参考镜的偏转实现,压电陶瓷与参考镜固定在一起,因此,上述干涉仪用压电陶瓷控制装置可以实现对干涉条纹的幅度和偏转角度的精准电动调节。
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