发明授权
- 专利标题: 直接转换X射线探测材料的制备方法
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申请号: CN201910696261.4申请日: 2019-07-30
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公开(公告)号: CN110473771B公开(公告)日: 2021-04-20
- 发明人: 汪雅伟 , 查钢强 , 周策 , 曹昆 , 李阳 , 张文玉 , 李易伟
- 申请人: 西北工业大学
- 申请人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 王鲜凯
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L27/12 ; H01L27/146
摘要:
本发明公开了一种直接转换X射线探测材料的制备方法,用于解决现有方法难以直接在TFT直接沉积CdZnTe多晶薄膜的技术问题。技术方案是采用布里奇曼法生长Cd1‑xZnxTe多晶锭切片作为生长源。将TFT衬底和生长源放入生长腔室,通过石英柱子调整好生长源与衬底之间的距离,关闭炉门,先开启机械泵抽真空,使腔室内真空度小于10pa,开启分子泵调节室内气压。开启水冷和温度控制系统,缓慢升温到设定温度,低温形核,采取重复生长方式,防止TFT衬底损坏,生长结束后,缓慢降温到一定温度然后自然冷却,由于采用了低温形核和重复生长方式,解决了背景技术方法难以直接在TFT衬底上真空沉积CdZnTe多晶薄膜问题。
公开/授权文献
- CN110473771A 直接转换X射线探测材料的制备方法 公开/授权日:2019-11-19
IPC分类: