直接转换X射线探测材料的制备方法
摘要:
本发明公开了一种直接转换X射线探测材料的制备方法,用于解决现有方法难以直接在TFT直接沉积CdZnTe多晶薄膜的技术问题。技术方案是采用布里奇曼法生长Cd1‑xZnxTe多晶锭切片作为生长源。将TFT衬底和生长源放入生长腔室,通过石英柱子调整好生长源与衬底之间的距离,关闭炉门,先开启机械泵抽真空,使腔室内真空度小于10pa,开启分子泵调节室内气压。开启水冷和温度控制系统,缓慢升温到设定温度,低温形核,采取重复生长方式,防止TFT衬底损坏,生长结束后,缓慢降温到一定温度然后自然冷却,由于采用了低温形核和重复生长方式,解决了背景技术方法难以直接在TFT衬底上真空沉积CdZnTe多晶薄膜问题。
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